Specializzati in progetti di misurazione e trasporto di fluidi dal 2008.
Regolatore di flusso di massa del gas GMFM-CXB: una soluzione intelligente per il controllo del flusso in applicazioni con gas per semiconduttori, laboratori e industria.
2026-10-28
Quando il controllo del flusso di gas deve essere preciso
I regolatori di flusso di massa non sono accessori opzionali. Sono il fondamento della ripetibilità del processo.
Troppo gas: spreco di materiale, condizioni di lavoro non sicure, wafer rovinati.
Quantità insufficiente di gas: reazioni incomplete, esperimenti falliti, risultati incoerenti.
ILGMFM-CXB è stato costruito per eliminare tale incertezza.
Misura e controlla direttamente il flusso di massa del gas, non il volume, non la pressione. Massa. L'unica misura che conta quando temperatura e pressione fluttuano.
Progettato per le applicazioni a gas più esigenti
| Il tuo cappello | Risposta GMFM-CXB |
|---|---|
| Flusso ultra-basso | Da 0~5 SCCM a 0~500 SLM – copre il microdosaggio fino al flusso su scala produttiva |
| Alta pressione | Fino a 3 MPa – gestisce forniture di gas pressurizzato |
| Gas corrosivi | Base in acciaio inox 316L – compatibile con gas reattivi e speciali |
| Cambiamenti rapidi del processo | Tempo di risposta 1~4 secondi (caratteristiche del gas) – tiene il passo con le variazioni dinamiche |
| Alta precisione | Precisione dell'1%, ripetibilità dello 0,2%: dati affidabili ogni volta. |
| Diverse opzioni di comunicazione | RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – si integra con qualsiasi sistema di controllo |
| Funzionamento senza perdite | Tasso di perdita 1×10⁻⁹ sccs He – ultra-ermetico, sicuro per gas pericolosi |
| Diverse opzioni di montaggio | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatibile con l'impianto idraulico esistente |
| Ampia gamma di opzioni di alimentazione | 220 V CA o 24 V CC – installazione flessibile |
| Qualità certificata | Certificazione ISO e CE – conforme agli standard internazionali |
Perché il controllo del flusso di massa e non la regolazione della pressione?
| Tipo di controllo | Limitazione | Il vantaggio GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Regolatore di pressione | Controlla la pressione, non la portata: la portata varia in base alle condizioni a valle. | Controllo diretto del flusso di massa: il flusso rimane dove lo si imposta. |
| Valvola a spillo manuale | Richiede continue regolazioni, varia in base alla temperatura e alla pressione | Automatico, stabile, ripetibile: impostalo e fidati. |
| orifizio fisso | Un'unica portata – non adattabile ai cambiamenti di processo | Setpoint regolabile, ampia gamma, risposta rapida |
| Solo misuratore di portata massica | Misura ma non controlla – necessita di una valvola separata | Valvola di controllo e sensore integrati: un unico strumento per il controllo a circuito chiuso. |
Specifiche principali
| Parametro | Valore |
|---|---|
| Nome del prodotto | Regolatore di flusso di massa del gas ad alta precisione |
| Modello | GMFM-CXB |
| Precisione | 1% |
| Ripetibilità | 0,2% |
| Gamma di flusso | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500... SCCM; 0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500... SLM |
| Alimentazione elettrica | 220VAC / 24VDC (DC+24V) |
| Intervallo di pressione differenziale | 0,1 ~ 0,5 MPa |
| Pressione massima | 3 MPa |
| Temperatura di lavoro | 0 ~ 50 °C |
| Tempo di risposta | Elettrico: 10 secondi; Gas: 1-4 secondi |
| Comunicazione | RS485 / Modbus / RS232 / HART / Profibus |
| Uscita analogica | DC 0~5V |
| Uscita digitale | RS485 MODBUS |
| Collegamento elettrico | DB15 |
| Tasso di perdita | 1×10⁻⁹ sccs He |
| Materiale della base | Acciaio inossidabile 316L |
| Materiale di tenuta | FKM, gomma nitrile butadiene, gomma cloroprene |
| Accessori | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8", 1/4", 3/8" |
| Display | LCD digitale |
| Certificato | ISO, CE |
| Garanzia | 1 anno |
| Personalizzazione | OEM, ODM, OBM |
Cosa distingue GMFM-CXB?
| Caratteristica | Cosa significa per te |
|---|---|
| Precisione dell'1% | Il tuo processo è ripetibile: lotto dopo lotto, esecuzione dopo esecuzione |
| Ripetibilità dello 0,2% | Letture sempre coerenti: nessuna deriva, nessuna sorpresa. |
| Ampia gamma di portata | Da 0~5 SCCM a 0~500 SLM: un'unica piattaforma per il flusso di micro e produzione |
| base in acciaio inox 316L | Compatibile con gas corrosivi, reattivi e ad elevata purezza. |
| Perdite estremamente ridotte | 1×10⁻⁹ sccs He – sicuro per gas pericolosi e costosi |
| Risposta rapida | 1~4 secondi (gas) – tiene il passo con le fasi dinamiche del processo |
| Diverse opzioni di comunicazione | RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus – si collega a qualsiasi sistema |
| Display digitale LCD | Visualizzazione locale: facile da leggere, facile da usare |
| Connessione elettrica DB15 | Interfaccia industriale standard: affidabile e facile da cablare. |
| Diverse opzioni di montaggio | Si collega al sistema esistente senza bisogno di adattatori. |
| Certificazione ISO e CE | Conforme agli standard internazionali di qualità e sicurezza. |
Applicazioni tipiche
| Industria | Applicazione | Perché GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Semiconduttore | Diffusione, epitassia, CVD, ossidazione, incisione al plasma, sputtering, impiantazione ionica | Alta precisione, microflusso, costruzione in acciaio inox 316L |
| Materiali speciali | Fusione di fibre ottiche, deposizione di film sottili, target di sputtering | Erogazione precisa del gas, flusso stabile |
| Chimica | Dispositivi di microrazione, sistemi di distribuzione di gas misti, ricerca sui catalizzatori | Risposta rapida, ampia gamma di flusso, comunicazioni multiple |
| Strumenti analitici | Cromatografi a gas, misurazione capillare, sistemi di calibrazione | Ripetibilità dello 0,2%, controllo preciso |
| Farmaceutico | Controllo dei gas di fermentazione, copertura con azoto | Preciso, tracciabile, affidabile |
| Ambientale | Miscelazione del gas di calibrazione, monitoraggio delle emissioni | Controllo preciso del rapporto, integrazione RS485 |
| Aspirapolvere e illuminazione | Lampade a vuoto, illuminazione speciale, processi al plasma | Flusso stabile, funzionamento senza perdite |
| Attrezzature per la verniciatura | Sputtering, evaporazione, rivestimento al plasma | Controllo preciso del gas, risposta rapida |
Una domanda
Preferiresti regolare una valvola manualmente o impostare un flusso e fidarti?
Le regolazioni manuali presentano delle derive. I regolatori di pressione non possono controllare il flusso. Gli orifizi fissi non sono adattabili.
Il controllo del flusso di massa a circuito chiuso mantiene il processo al livello impostato.
Il GMFM-CXB ti offre il controllo di cui hai bisogno.
Pronti a specificare il GMFM-CXB per il vostro impianto a gas?
Contattaci indicando il tipo di gas, la portata, la pressione, la temperatura, le esigenze di comunicazione e di installazione. Ti consiglieremo la configurazione più adatta e ti forniremo un preventivo entro 24 ore.
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