Controllore del flusso di massa (MFC) Utilizzato per misurare e controllare con precisione il flusso di massa del gas. Il controller del flussometro di massa può controllare la valvola di regolazione per completare automaticamente la regolazione del flusso. Il programma controlla la valvola di regolazione per completare la regolazione automatica del flusso. Il controller del misuratore di portata ha dimensioni ridotte, alta integrazione, alta precisione e tempo di regolazione, facile da usare, lavoro stabile, ecc.

Il controller del flussometro svolge un ruolo importante nella ricerca scientifica e nella produzione in vari campi come l'industria dei semiconduttori e dei circuiti integrati, le discipline dei materiali speciali, l'industria chimica e le lampade industriali, farmaceutiche, di protezione ambientale e a vuoto. Le applicazioni tipiche del controller del misuratore di portata massica includono apparecchiature di processo elettroniche come diffusione, epitassia, CVD, ossidazione, attacco al plasma, sputtering e impianto ionico; e apparecchiature di rivestimento, fusione di fibre ottiche, dispositivi di microreazione, sistemi di distribuzione di gas misti, misurazione capillare, gascromatografi e altri strumenti analitici.