2008년부터 유체 측정 및 이송 프로젝트 전문 기업으로 활동하고 있습니다.

GMFM-CXB 가스 질량 유량 제어기: 반도체, 실험실 및 산업용 가스 응용 분야를 위한 지능형 유량 제어 솔루션

2026-10-28

가스 유량 제어가 정확해야 할 때

질량 유량 제어기는 선택 사양이 아니라, 공정 반복성의 핵심 요소입니다.

가스가 너무 많으면 재료가 낭비되고, 안전하지 않은 환경이 조성되며, 웨이퍼가 손상됩니다.
기체가 너무 적으면 반응이 불완전해지고, 실험이 실패하며, 결과가 일관되지 않습니다.

그만큼GMFM-CXB 그러한 불확실성을 없애기 위해 만들어졌습니다.

이 장치는 기체의 부피나 압력이 아닌 질량 흐름을 직접 측정하고 제어합니다. 온도와 압력이 변동할 때 중요한 유일한 측정값은 바로 질량입니다.

당신의 도전	GMFM-CXB 답변
초저유량	0~5 SCCM ~ 0~500 SLM – 미량 투여부터 생산 규모 유량까지 포괄합니다.
고압	최대 3MPa - 가압 가스 공급 장치를 처리합니다.
부식성 가스	316L 스테인리스 스틸 베이스 - 반응성 및 특수 가스와 호환 가능
빠른 프로세스 변경	응답 시간 1~4초(가스 특성) - 동적 단계에 맞춰 반응합니다.
높은 정확도	정확도 1%, 반복성 0.2% – 매번 신뢰할 수 있는 데이터 제공
다양한 통신 옵션	RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – 모든 제어 시스템과 통합 가능
누출 없는 작동	누출률 1×10⁻⁹ sccs He – 초밀폐형, 위험 가스에 안전
다양한 장착 옵션	Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – 기존 배관과 호환됩니다.
다양한 전력 옵션	220VAC 또는 24VDC - 유연한 설치
인증된 품질	ISO, CE 인증 – 국제 표준 충족

제어 유형	한정	GMFM-CXB 장점
압력 조절기	압력을 제어하는 것이지 유량을 제어하는 것이 아닙니다. 유량은 하류 조건에 따라 달라집니다.	직접 질량 유량 제어 – 설정한 유량을 그대로 유지합니다.
수동 니들 밸브	지속적인 조정이 필요하며, 온도와 압력에 따라 변동합니다.	자동, 안정적, 반복 가능 – 설정 후 믿고 사용하세요.
고정된 구멍	유량은 하나만 가능하며 공정 변화에 적응할 수 없습니다.	설정값 조절 가능, 넓은 범위, 빠른 응답 속도
질량 유량계 전용	측정만 할 뿐 제어는 하지 않습니다. 별도의 밸브가 필요합니다.	통합 제어 밸브 및 센서 - 하나의 계측기로 폐루프 제어

특징	이것이 당신에게 의미하는 바는 무엇일까요?
1% 정확도	귀하의 프로세스는 배치별로, 실행별로 반복 가능합니다.
0.2% 반복성	매번 일관된 측정값 - 오차나 예상치 못한 결과 없음
넓은 유량 범위	0~5 SCCM에서 0~500 SLM까지 – 마이크로 및 생산 흐름을 위한 단일 플랫폼
316L 스테인리스 스틸 베이스	부식성, 반응성 및 고순도 가스와 호환 가능
초저누설	1×10⁻⁹ sccs He – 위험하고 값비싼 가스에 안전한 사용
빠른 응답	1~4초(가스) - 동적 공정 단계를 따라갑니다.
다양한 통신 옵션	RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus 등 모든 시스템과 연결 가능합니다.
LCD 디지털 디스플레이	로컬 판독 방식 – 읽기 쉽고 조작하기 쉽습니다
DB15 전기 연결	표준 산업용 인터페이스 - 안정적이고 배선이 간편합니다.
다양한 장착 옵션	어댑터 없이 기존 시스템에 연결됩니다.
ISO 및 CE 인증	국제 품질 및 안전 기준을 충족합니다.

산업	애플리케이션	GMFM-CXB를 선택하는 이유
반도체	확산, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입	고정밀, 미세 유량, 316L 구조
특수 소재	광섬유 제련, 박막 증착, 스퍼터링 타겟	정확한 가스 공급, 안정적인 유량
화학적인	미세반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 촉매 연구	빠른 응답, 넓은 유량 범위, 다양한 통신 방식
분석 기기	가스 크로마토그래프, 모세관 측정, 교정 시스템	0.2%의 반복성, 정밀한 제어
제약	발효 가스 제어, 질소 블랭킷	정확하고, 추적 가능하며, 신뢰할 수 있습니다.
환경	교정용 가스 혼합, 배출 모니터링	정밀한 비율 제어, RS485 통합
진공청소기 및 조명	진공 램프, 특수 조명, 플라즈마 공정	안정적인 유량, 누출 없는 작동
코팅 장비	스퍼터링, 증발, 플라즈마 코팅	정확한 가스 제어, 빠른 반응 속도