Spécialisés dans les projets de mesure et de transport de fluides depuis 2008
Contrôleur de débit massique de gaz GMFM-CXB : une solution de contrôle de débit intelligente pour les applications gazières dans les secteurs des semi-conducteurs, des laboratoires et de l’industrie.
2026-10-28
Lorsque le contrôle du débit de gaz doit être précis
Les régulateurs de débit massique ne sont pas des accessoires optionnels. Ils constituent le fondement de la répétabilité des processus.
Trop de gaz – gaspillage de matière, conditions dangereuses, plaquettes endommagées.
Quantité de gaz insuffisante – réactions incomplètes, expériences infructueuses, résultats incohérents.
LeGMFM-CXB a été conçu pour éliminer cette incertitude.
Il mesure et contrôle directement le débit massique de gaz – ni le volume, ni la pression. La masse. La seule mesure qui compte lorsque la température et la pression fluctuent.
Conçu pour les applications gazières les plus exigeantes
| Votre défi | Réponse GMFM-CXB |
|---|---|
| Débit ultra-faible | 0 à 5 SCCM à 0 à 500 SLM – couvre le microdosage jusqu'au débit à l'échelle de la production |
| Haute pression | Jusqu'à 3 MPa – gère les alimentations en gaz sous pression |
| Gaz corrosifs | Socle en acier inoxydable 316L – compatible avec les gaz réactifs et spéciaux |
| Changements rapides du processus | Temps de réponse de 1 à 4 secondes (caractéristiques du gaz) – suit les variations dynamiques. |
| Haute précision | Précision de 1 %, répétabilité de 0,2 % – des données fiables à chaque fois |
| Plusieurs options de communication | RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – s'intègre à tout système de contrôle |
| Fonctionnement sans fuite | Taux de fuite 1×10⁻⁹ sccs He – ultra-étanche, sans danger pour les gaz dangereux |
| Plusieurs options d'ajustement | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatible avec votre plomberie existante |
| Large choix d'options d'alimentation | 220 V CA ou 24 V CC – installation flexible |
| Qualité certifiée | Certifié ISO et CE – conforme aux normes internationales |
Pourquoi la régulation du débit massique et non la régulation de la pression
| Type de contrôle | Limitation | Avantage GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Régulateur de pression | Contrôle la pression, et non le débit – le débit varie en fonction des conditions en aval | Contrôle direct du débit massique – le débit reste constant. |
| vanne à pointeau manuelle | Nécessite un réglage constant, dérive en fonction de la température et de la pression | Automatique, stable, reproductible – configurez-le et faites-lui confiance |
| Orifice fixe | Un seul débit – ne s'adapte pas aux changements de processus | Consigne réglable, large plage de réglage, réponse rapide |
| débitmètre massique uniquement | Mesure mais ne contrôle pas – nécessite une vanne séparée | Vanne de régulation et capteur intégrés – un seul instrument, régulation en boucle fermée |
Caractéristiques principales
| Paramètre | Valeur |
|---|---|
| Nom du produit | Contrôleur de débit massique de gaz de haute précision |
| Modèle | GMFM-CXB |
| Précision | 1% |
| Répétabilité | 0,2% |
| Plage de débit | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500... SCCM; 0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500... SLM |
| Alimentation | 220VAC / 24VDC (DC+24V) |
| Plage de pression différentielle | 0,1 ~ 0,5 MPa |
| Pression maximale | 3 MPa |
| Température de fonctionnement | 0 ~ 50°C |
| Temps de réponse | Électrique : 10 s ; Gaz : 1 à 4 s |
| Communication | RS485 / Modbus / RS232 / HART / Profibus |
| Sortie analogique | DC 0~5V |
| Sortie numérique | RS485 MODBUS |
| Raccordement électrique | DB15 |
| Taux de fuite | 1×10⁻⁹ sccs Il |
| Matériau de base | Acier inoxydable 316L |
| Matériau d'étanchéité | FKM, caoutchouc nitrile butadiène, caoutchouc chloroprène |
| Raccords | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8", 1/4", 3/8" |
| Afficher | LCD numérique |
| Certificat | ISO, CE |
| Garantie | 1 an |
| Personnalisation | OEM, ODM, OBM |
Ce qui distingue le GMFM-CXB
| Fonctionnalité | Ce que cela signifie pour vous |
|---|---|
| Précision de 1 % | Votre processus est reproductible – lot après lot, exécution après exécution |
| Répétabilité de 0,2 % | Des mesures toujours cohérentes – aucune dérive, aucune surprise |
| Large plage de débit | De 0 à 5 SCCM à 0 à 500 SLM – une plateforme unique pour les flux de micro et de production |
| Base en acier inoxydable 316L | Compatible avec les gaz corrosifs, réactifs et de haute pureté |
| Fuites ultra-faibles | 1×10⁻⁹ sccs He – sans danger pour les gaz dangereux et coûteux |
| Réponse rapide | 1 à 4 secondes (gaz) – suit le rythme des étapes dynamiques du processus |
| Plusieurs options de communication | RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus – compatible avec tous les systèmes |
| écran numérique LCD | Affichage local – facile à lire, facile à utiliser |
| Connexion électrique DB15 | Interface industrielle standard – fiable et facile à câbler |
| Plusieurs options d'ajustement | Se connecte à votre système existant sans adaptateurs. |
| Certifié ISO et CE | Conforme aux normes internationales de qualité et de sécurité |
Applications typiques
| Industrie | Application | Pourquoi GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Semi-conducteur | Diffusion, épitaxie, dépôt chimique en phase vapeur (CVD), oxydation, gravure plasma, pulvérisation cathodique, implantation ionique | Construction en acier inoxydable 316L, microflux et haute précision |
| Matériaux spéciaux | Fusion de fibres optiques, dépôt de couches minces, cibles de pulvérisation cathodique | Distribution précise du gaz, débit stable |
| Chimique | Dispositifs de microréaction, systèmes de distribution de gaz mixtes, recherche sur les catalyseurs | Réponse rapide, large plage de débit, communications multiples |
| Instruments analytiques | Chromatogrammes en phase gazeuse, mesure capillaire, systèmes d'étalonnage | Répétabilité de 0,2 %, contrôle précis |
| Pharmaceutique | Contrôle des gaz de fermentation, couverture d'azote | Précis, traçable, fiable |
| Environnement | Mélange de gaz d'étalonnage, surveillance des émissions | Contrôle précis du rapport, intégration RS485 |
| Aspirateur et éclairage | Lampes à vide, éclairage spécialisé, procédés plasma | Débit stable, fonctionnement sans fuite |
| Équipement de revêtement | Pulvérisation cathodique, évaporation, revêtement plasma | Contrôle précis des gaz, réponse rapide |
Une question
Préféreriez-vous régler une vanne manuellement ou définir un débit et vous y fier ?
Dérive du réglage manuel. Les régulateurs de pression ne permettent pas de contrôler le débit. Les orifices fixes ne peuvent pas s'adapter.
La régulation du débit massique en boucle fermée permet de maintenir votre processus là où vous l'avez défini.
Le GMFM-CXB vous offre le contrôle dont vous avez besoin.
Prêt à spécifier le GMFM-CXB pour votre système à gaz ?
Contactez-nous en précisant le type de gaz, le débit, la pression, la température, le mode de communication et les raccords souhaités. Nous vous recommanderons la configuration adaptée et vous fournirons un devis sous 24 heures.
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