Especializada em projetos de medição e condução de fluidos desde 2008.
Controlador de Fluxo de Massa de Gás GMFM-CXB: Uma solução inteligente de controle de fluxo para aplicações em semicondutores, laboratórios e gases industriais.
2026-10-28
Quando o controle do fluxo de gás precisa ser preciso
Controladores de fluxo de massa não são acessórios opcionais. Eles são a base da repetibilidade do processo.
Excesso de gás – desperdício de material, condições inseguras, wafers danificados.
Pouco gás – reações incompletas, experimentos falhos, resultados inconsistentes.
OGMFM-CXB Foi criado para eliminar essa incerteza.
Ele mede e controla diretamente o fluxo de massa de gás – não o volume, não a pressão. Massa. A única medida que importa quando a temperatura e a pressão flutuam.
Projetado para as aplicações de gás mais exigentes.
| Seu desafio | Resposta GMFM-CXB |
|---|---|
| Fluxo ultrabaixo | 0~5 SCCM a 0~500 SLM – abrange desde microdosagem até fluxo em escala de produção. |
| Alta pressão | Até 3 MPa – suporta suprimentos de gás pressurizado |
| Gases corrosivos | Base em aço inoxidável 316L – compatível com gases reativos e especiais. |
| Mudanças rápidas no processo | Tempo de resposta de 1 a 4 segundos (características do gás) – acompanha etapas dinâmicas. |
| Alta precisão | Precisão de 1%, repetibilidade de 0,2% – dados confiáveis sempre. |
| Múltiplas opções de comunicação | RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – integra-se com qualquer sistema de controle. |
| Operação sem vazamentos | Taxa de vazamento 1×10⁻⁹ sccs He – ultra-hermético, seguro para gases perigosos |
| Múltiplas opções de ajuste | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatível com seu encanamento existente |
| Ampla gama de opções de energia | 220 VCA ou 24 VCC – instalação flexível |
| Qualidade certificada | Certificação ISO e CE – atende aos padrões internacionais. |
Por que o controle de fluxo de massa é importante, e não a regulação de pressão?
| Tipo de controle | Limitação | Vantagem GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Regulador de pressão | Controla a pressão, não o fluxo – o fluxo varia com as condições a jusante. | Controle direto do fluxo de massa – o fluxo permanece onde você o definiu. |
| Válvula de agulha manual | Requer ajustes constantes, varia com a temperatura e a pressão. | Automático, estável, repetível – configure e confie. |
| Orifício fixo | Apenas uma taxa de fluxo – não é possível adaptar-se a mudanças no processo. | Ponto de ajuste ajustável, ampla faixa de operação, resposta rápida |
| Somente medidor de vazão mássica | Mede, mas não controla – necessita de válvula separada. | Válvula de controle e sensor integrados – um único instrumento, controle em circuito fechado. |
Especificações principais
| Parâmetro | Valor |
|---|---|
| Nome do produto | Controlador de fluxo de massa de gás de alta precisão |
| Modelo | GMFM-CXB |
| Precisão | 1% |
| Repetibilidade | 0,2% |
| Faixa de fluxo | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500... SCCM; 0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500... SLM |
| Fonte de energia | 220VAC / 24VDC (DC+24V) |
| Faixa de pressão diferencial | 0,1 ~ 0,5 MPa |
| Pressão máxima | 3 MPa |
| Temperatura de trabalho | 0 ~ 50°C |
| Tempo de resposta | Elétrico: 10 segundos; Gás: 1 a 4 segundos |
| Comunicação | RS485 / Modbus / RS232 / HART / Profibus |
| Saída analógica | DC 0~5V |
| Saída digital | RS485 MODBUS |
| Conexão elétrica | DB15 |
| Taxa de vazamento | 1×10⁻⁹ sccs Ele |
| Material de base | Aço inoxidável 316L |
| Material de vedação | FKM, Borracha Nitrílica Butadieno, Borracha Cloropreno |
| Acessórios | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8", 1/4", 3/8" |
| Mostrar | LCD Digital |
| Certificado | ISO, CE |
| Garantia | 1 ano |
| Personalização | OEM, ODM, OBM |
O que diferencia o GMFM-CXB
| Recurso | O que isso significa para você |
|---|---|
| Precisão de 1% | Seu processo é repetível – lote após lote, execução após execução. |
| Repetibilidade de 0,2% | Leituras consistentes sempre – sem desvios, sem surpresas. |
| Ampla faixa de fluxo | 0~5 SCCM a 0~500 SLM – uma plataforma para fluxos de micro e produção |
| Base em aço inoxidável 316L | Compatível com gases corrosivos, reativos e de alta pureza. |
| Vazamento ultrabaixo | 1×10⁻⁹ sccs He – seguro para gases perigosos e caros |
| Resposta rápida | 1 a 4 segundos (gás) – acompanha as etapas dinâmicas do processo. |
| Múltiplas opções de comunicação | RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus – conecta-se a qualquer sistema. |
| visor digital LCD | Leitura local – fácil de ler, fácil de operar |
| Conexão elétrica DB15 | Interface industrial padrão – confiável e fácil de instalar. |
| Múltiplas opções de ajuste | Conecta-se ao seu sistema existente sem adaptadores. |
| Certificado ISO e CE | Atende aos padrões internacionais de qualidade e segurança. |
Aplicações típicas
| Indústria | Aplicativo | Por que GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Semicondutor | Difusão, epitaxia, CVD, oxidação, ataque por plasma, pulverização catódica, implantação iônica | Alta precisão, microfluxo, construção em aço inoxidável 316L. |
| Materiais Especiais | Fundição de fibra óptica, deposição de filmes finos, alvos de pulverização catódica | Fornecimento preciso de gás, fluxo estável |
| Produtos químicos | Dispositivos de microrreação, sistemas de distribuição de gases mistos, pesquisa de catalisadores | Resposta rápida, ampla faixa de fluxo, múltiplas comunicações |
| Instrumentos Analíticos | Cromatógrafos gasosos, medição capilar, sistemas de calibração | Repetibilidade de 0,2%, controle preciso |
| Produtos Farmacêuticos | Controle de gases de fermentação, inertização com nitrogênio | Preciso, rastreável, confiável |
| Ambiental | Mistura de gases de calibração, monitoramento de emissões | Controle preciso da relação de transmissão, integração RS485 |
| Aspirador e Iluminação | Lâmpadas a vácuo, iluminação especializada, processos de plasma | Fluxo estável, operação sem vazamentos |
| Equipamentos de revestimento | Pulverização catódica, evaporação, revestimento de plasma | Controle preciso de gás, resposta rápida |
Uma pergunta
Você prefere ajustar uma válvula manualmente ou definir uma vazão e confiar nela?
O ajuste manual apresenta desvios. Os reguladores de pressão não conseguem controlar o fluxo. Os orifícios fixos não se adaptam.
O controle de fluxo de massa em circuito fechado mantém seu processo exatamente como você o definiu.
O GMFM-CXB oferece o controle que você precisa.
Pronto para especificar o GMFM-CXB para o seu sistema de gás?
Entre em contato conosco informando o tipo de gás, a faixa de vazão, a pressão, a temperatura, as opções de comunicação e os requisitos de instalação. Recomendaremos a configuração ideal e forneceremos um orçamento em até 24 horas.
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