Специализация на проектах по измерению и транспортировке жидкостей с 2008 года.
Газовый расходомер GMFM-CXB: интеллектуальное решение для регулирования расхода газов в полупроводниковой, лабораторной и промышленной отраслях.
2026-10-28
Когда требуется точное регулирование потока газа.
Регуляторы массового расхода — это не дополнительные устройства. Они являются основой для обеспечения воспроизводимости процесса.
Избыток газа – потери материала, небезопасные условия, испорченные вафли.
Недостаток газа – неполные реакции, неудачные эксперименты, противоречивые результаты.
ОнGMFM-CXB Он был создан для устранения этой неопределенности.
Он измеряет и контролирует массовый поток газа напрямую – не объем и не давление. Масса. Единственное измерение, имеющее значение при колебаниях температуры и давления.
Создан для самых требовательных газовых применений.
| Ваше задание | Ответ GMFM-CXB |
|---|---|
| Сверхнизкий расход | Диапазон рабочих объемов от 0 до 5 SCCM до 0 до 500 SLM – охватывает микродозирование и производственные потоки. |
| Высокое давление | До 3 МПа – работает с подачей газа под давлением. |
| Коррозионные газы | Основание из нержавеющей стали 316L – совместимо с реактивными и специальными газами. |
| Быстрые изменения процессов | Время отклика 1–4 секунды (в зависимости от характеристик газа) – обеспечивает плавное реагирование на динамические изменения. |
| Высокая точность | Точность 1%, воспроизводимость 0,2% – надежные данные каждый раз. |
| Множество вариантов связи | RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – интегрируется с любой системой управления. |
| Герметичная работа | Утечка 1×10⁻⁹ ст.см³ He – сверхгерметичный, безопасен для опасных газов. |
| Различные варианты крепления | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – подходит к вашей существующей сантехнике. |
| Широкий выбор вариантов питания | 220 В переменного тока или 24 В постоянного тока – гибкие возможности установки. |
| Сертифицированное качество | Сертифицировано по стандартам ISO и CE – соответствует международным стандартам. |
Почему именно регулирование массового расхода, а не регулирование давления?
| Тип управления | Ограничение | Преимущество GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Регулятор давления | Регулирует давление, а не поток – поток изменяется в зависимости от условий на выходе. | Прямое регулирование массового расхода – расход остается на заданном вами уровне. |
| ручной игольчатый клапан | Требует постоянной регулировки, изменяется в зависимости от температуры и давления. | Автоматический, стабильный, воспроизводимый — настройте и доверьтесь ему. |
| неподвижное отверстие | Только один расход – невозможно адаптироваться к изменениям процесса. | Регулируемая заданная точка, широкий диапазон, быстрая реакция. |
| Только расходомер | Измеряет, но не контролирует – требуется отдельный клапан. | Интегрированный регулирующий клапан и датчик – один прибор, замкнутый контур управления. |
Основные характеристики
| Параметр | Ценить |
|---|---|
| Название продукта | Высокоточный регулятор массового расхода газа |
| Модель | GMFM-CXB |
| Точность | 1% |
| Повторяемость | 0,2% |
| Диапазон расхода | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500... SCCM; 0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500... SLM |
| Источник питания | 220VAC / 24VDC (DC+24V) |
| Диапазон перепада давления | 0,1 ~ 0,5 МПа |
| Максимальное давление | 3 МПа |
| Рабочая температура | 0 ~ 50°C |
| Время отклика | Электрический ток: 10 сек; Газовый ток: 1–4 сек. |
| Коммуникация | RS485 / Modbus / RS232 / HART / Profibus |
| Аналоговый выход | DC 0~5V |
| Цифровой выход | RS485 MODBUS |
| Электрическое соединение | DB15 |
| Скорость утечки | 1×10⁻⁹ скс He |
| Материал основания | Нержавеющая сталь 316L |
| Материал уплотнения | ФКМ, нитрилбутадиеновый каучук, хлоропреновый каучук |
| Фитинги | 3, 6, 10, 1/8", 1/4", 3/8" |
| Отображать | ЖК-цифровой |
| Сертификат | ISO, CE |
| Гарантия | 1 год |
| Настройка | OEM, ODM, OBM |
Чем отличается GMFM-CXB от других подобных устройств?
| Особенность | Что это значит для вас |
|---|---|
| точность 1% | Ваш процесс воспроизводим – партия за партией, запуск за запуском. |
| Повторяемость 0,2% | Показания всегда стабильные – без отклонений, без неожиданностей. |
| Широкий диапазон расхода | От 0 до 5 SCCM до 0 до 500 SLM – единая платформа для микро- и производственных потоков. |
| Основание из нержавеющей стали 316L | Совместим с коррозионными, реактивными и высокочистыми газами. |
| Сверхнизкая утечка | 1×10⁻⁹ ст.см³ He – безопасен для опасных и дорогостоящих газов. |
| Быстрый ответ | 1–4 секунды (газ) – обеспечивает поддержку динамических этапов процесса. |
| Множество вариантов связи | RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus – подключается к любой системе. |
| ЖК-цифровой дисплей | Локальный дисплей – легко читается, прост в использовании |
| Электрическое соединение DB15 | Стандартный промышленный интерфейс – надежный, простой в подключении. |
| Различные варианты крепления | Подключается к вашей существующей системе без адаптеров. |
| Сертифицировано по стандартам ISO и CE. | Соответствует международным стандартам качества и безопасности. |
Типичные области применения
| Промышленность | Приложение | Почему GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Полупроводник | Диффузия, эпитаксия, CVD, окисление, плазменное травление, распыление, ионная имплантация | Высокая точность, микропоток, конструкция из стали 316L. |
| Специальные материалы | Выплавка оптического волокна, осаждение тонких пленок, мишени для магнетронного распыления | Точная подача газа, стабильный поток. |
| Химический | Микрореакционные устройства, системы распределения смешанных газов, исследования катализаторов. | Быстрый отклик, широкий диапазон потоков, множественные каналы связи |
| Аналитические приборы | Газовые хроматографы, капиллярные измерения, калибровочные системы | Повторяемость 0,2%, точный контроль |
| Фармацевтическая промышленность | Контроль газообразования в процессе брожения, создание азотной прослойки. | Точный, отслеживаемый, надежный |
| Относящийся к окружающей среде | Смешивание калибровочных газов, мониторинг выбросов | Точное регулирование соотношения, интеграция с RS485. |
| Пылесос и освещение | Вакуумные лампы, специальное освещение, плазменные процессы | Стабильный поток, герметичная работа. |
| Оборудование для нанесения покрытий | Напыление, испарение, плазменное нанесение покрытий | Точное регулирование подачи газа, быстрая реакция. |
Один вопрос
Вы бы предпочли регулировать клапан вручную или установить расход и довериться ему?
Ручная регулировка может привести к сбоям. Регуляторы давления не могут контролировать поток. Фиксированные отверстия не могут адаптироваться.
Система управления массовым расходом с обратной связью поддерживает заданные вами параметры процесса.
GMFM-CXB предоставляет вам необходимый контроль.
Готовы выбрать GMFM-CXB для вашей газовой системы?
Свяжитесь с нами, указав тип газа, диапазон расхода, давление, температуру, требования к связи и фитингам. Мы порекомендуем подходящую конфигурацию и предоставим ценовое предложение в течение 24 часов.
ReviewsNumber of comments: {{ page.total }}
I want to comment?{{item.nickname ? (item.nickname.slice(0, 2) + '*****') : item.source === 1 ? 'mall buyer' : '--'}}
{{item.comment_time}} Review in the {{item.country}} Reviews
Merchant {{replyItem.nickname ? (replyItem.nickname.slice(0, 2) + '*****') : replyItem.source === 1 ? 'mall buyer' : '--'}} {{replyItem.parent_nickname ? (replyItem.parent_nickname.slice(0, 2) + '*****') : '--'}}
{{replyItem.is_merchant_reply === 1 ? replyItem.reply_time : replyItem.comment_time}} Review in the {{replyItem.country}} Reviews
No customer reviews
Связаться с нами
Компания Shanghai Cixi Instrument CO.,LTD была основана в 2008 году и расположена в промышленном парке Шанхая Сунцзян. Мы являемся профессиональным производителем расходомеров, который интегрирует R&D, производство и продажа как одного производителя.
Свяжитесь с нами
Контактное лицо: Кенни Шао
Контактный номер телефона: +86 18930647859
Электронная почта:sales3@gnflowmeter.com
WhatsApp: 86 18930647859
Адрес компании: Комната 402, корпус B, район Сунцзян, высокотехнологичный парк Цаохэцзин, ул. Синьчжу, 650, район Сунцзян, Шанхай, Китай. Почтовый индекс: 201601
Авторские права © 2024 Шанхайская компания Cixi Instrument Co. ООО - www.gnflowmeter.com | Карта сайта