Spezialisiert auf Projekte im Bereich Fluidmessung und -förderung seit 2008
GMFM-CXB Gasmassendurchflussregler: Eine intelligente Durchflussregelungslösung für Halbleiter-, Labor- und Industriegasanwendungen
2026-10-28
Wenn die Gasdurchflussregelung exakt sein muss
Massendurchflussregler sind kein optionales Zubehör. Sie sind die Grundlage für die Wiederholbarkeit von Prozessen.
Zu viel Gas – Materialverschwendung, unsichere Bedingungen, unbrauchbare Waffeln.
Zu wenig Gas – unvollständige Reaktionen, fehlgeschlagene Experimente, inkonsistente Ergebnisse.
DerGMFM-CXB wurde entwickelt, um diese Unsicherheit zu beseitigen.
Es misst und regelt den Gasmassenstrom direkt – nicht das Volumen, nicht den Druck. Masse. Die einzige Messgröße, die zählt, wenn Temperatur und Druck schwanken.
Konzipiert für die anspruchsvollsten Gasanwendungen
| Ihre Herausforderung | GMFM-CXB Antwort |
|---|---|
| Extrem niedriger Durchfluss | 0–5 SCCM bis 0–500 SLM – deckt Mikrodosierung bis hin zu Produktionsmengen ab |
| Hochdruck | Bis zu 3 MPa – geeignet für Druckgasversorgung |
| Ätzende Gase | Sockel aus Edelstahl 316L – kompatibel mit reaktiven und Spezialgasen |
| Schnelle Prozessänderungen | Reaktionszeit 1–4 Sekunden (Gascharakteristika) – hält mit dynamischen Schritten Schritt für Schritt Schritt |
| Hohe Genauigkeit | 1 % Genauigkeit, 0,2 % Wiederholgenauigkeit – jederzeit zuverlässige Daten |
| Mehrere Kommunikationsmöglichkeiten | RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus – lässt sich in jedes Steuerungssystem integrieren |
| Leckfreier Betrieb | Leckrate 1×10⁻⁹ sccs He – ultradicht, sicher für gefährliche Gase |
| Mehrere Montageoptionen | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – passend zu Ihrer bestehenden Verrohrung |
| Breites Leistungsspektrum | 220 V AC oder 24 V DC – flexible Installation |
| Zertifizierte Qualität | ISO- und CE-zertifiziert – erfüllt internationale Standards |
Warum Massenstromregelung – und nicht Druckregelung?
| Steuerungstyp | Einschränkung | GMFM-CXB Vorteil |
|---|---|---|
| Druckregler | Regelt den Druck, nicht den Durchfluss – der Durchfluss variiert mit den nachgelagerten Bedingungen | Direkte Massenstromregelung – der Durchfluss bleibt auf dem eingestellten Wert. |
| Manuelles Nadelventil | Erfordert ständige Anpassung, variiert mit Temperatur und Druck | Automatisch, stabil, wiederholbar – einstellen und darauf vertrauen. |
| Feste Öffnung | Nur eine Durchflussrate – keine Anpassung an Prozessänderungen möglich | Einstellbarer Sollwert, großer Messbereich, schnelle Ansprechzeit |
| nur Massenstrommesser | Misst, regelt aber nicht – benötigt separates Ventil | Integriertes Regelventil und Sensor – ein Instrument, Regelung im geschlossenen Regelkreis |
Wichtigste Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Produktname | Hochpräziser Gasmassenstromregler |
| Modell | GMFM-CXB |
| Genauigkeit | 1% |
| Wiederholbarkeit | 0,2 % |
| Durchflussbereich | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500... SCCM; 0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500... SLM |
| Stromversorgung | 220VAC / 24VDC (DC+24V) |
| Differenzdruckbereich | 0,1 ~ 0,5 MPa |
| Maximaler Druck | 3 MPa |
| Betriebstemperatur | 0 ~ 50°C |
| Ansprechzeit | Elektrisch: 10 Sek.; Gas: 1–4 Sek. |
| Kommunikation | RS485 / Modbus / RS232 / HART / Profibus |
| Analogausgang | DC 0~5V |
| Digitalausgang | RS485 MODBUS |
| Elektrischer Anschluss | DB15 |
| Leckrate | 1×10⁻⁹ sccs He |
| Grundmaterial | Edelstahl 316L |
| Dichtungsmaterial | FKM, Nitril-Butadien-Kautschuk, Chloropren-Kautschuk |
| Armaturen | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8", 1/4", 3/8" |
| Anzeige | LCD-Digitalanzeige |
| Zertifikat | ISO, CE |
| Garantie | 1 Jahr |
| Anpassung | OEM, ODM, OBM |
Was GMFM-CXB auszeichnet
| Besonderheit | Was das für Sie bedeutet |
|---|---|
| 1% Genauigkeit | Ihr Prozess ist wiederholbar – Charge für Charge, Durchlauf für Durchlauf |
| 0,2 % Wiederholgenauigkeit | Gleichbleibende Messwerte bei jeder Messung – keine Abweichungen, keine Überraschungen |
| Breiter Durchflussbereich | 0–5 SCCM bis 0–500 SLM – eine Plattform für Mikro- und Produktionsabläufe |
| Sockel aus Edelstahl 316L | Kompatibel mit korrosiven, reaktiven und hochreinen Gasen |
| Extrem geringe Leckage | 1×10⁻⁹ sccs He – sicher für gefährliche und teure Gase |
| Schnelle Reaktion | 1–4 Sekunden (Gas) – hält mit dynamischen Prozessschritten Schritt für Schritt. |
| Mehrere Kommunikationsmöglichkeiten | RS485, Modbus, RS232, HART, Profibus – verbindet sich mit jedem System |
| LCD-Digitalanzeige | Lokale Anzeige – gut lesbar, einfach zu bedienen |
| DB15 elektrischer Anschluss | Standard-Industrieschnittstelle – zuverlässig, einfach zu verkabeln |
| Mehrere Montageoptionen | Lässt sich ohne Adapter an Ihr bestehendes System anschließen. |
| ISO- und CE-zertifiziert | Entspricht internationalen Qualitäts- und Sicherheitsstandards |
Typische Anwendungen
| Industrie | Anwendung | Warum GMFM-CXB |
|---|---|---|
| Halbleiter | Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation | Hochpräzise, Mikroströmung, 316L-Konstruktion |
| Spezialmaterialien | Optische Faserverhüttung, Dünnschichtabscheidung, Sputtertargets | Präzise Gaszufuhr, stabiler Durchfluss |
| Chemische | Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Katalysatorforschung | Schnelle Reaktionszeit, großer Durchflussbereich, vielfältige Kommunikationsmöglichkeiten |
| Analytische Instrumente | Gaschromatographen, Kapillarmessung, Kalibriersysteme | 0,2 % Wiederholgenauigkeit, präzise Steuerung |
| Pharmazeutische | Gärgaskontrolle, Stickstoffbegasung | Genau, nachvollziehbar, zuverlässig |
| Umwelt | Kalibriergasmischung, Emissionsüberwachung | Präzise Übersetzungsverhältnisregelung, RS485-Integration |
| Vakuum und Beleuchtung | Vakuumlampen, Spezialbeleuchtung, Plasmaverfahren | Stabiler Durchfluss, leckagefreier Betrieb |
| Beschichtungsanlagen | Sputtern, Verdampfen, Plasmabeschichtung | Präzise Gasregelung, schnelle Reaktion |
Eine Frage
Würden Sie lieber ein Ventil von Hand einstellen – oder einen Durchfluss festlegen und darauf vertrauen?
Manuelle Einstellabweichungen. Druckregler können den Durchfluss nicht steuern. Feste Düsen können sich nicht anpassen.
Die geschlossene Massenstromregelung hält Ihren Prozess genau dort, wo Sie ihn eingestellt haben.
Mit dem GMFM-CXB haben Sie die nötige Kontrolle.
Sind Sie bereit, den GMFM-CXB für Ihr Gassystem zu spezifizieren?
Teilen Sie uns bitte Ihre Gasart, den Durchflussbereich, den Druck, die Temperatur sowie Ihre Kommunikations- und Anschlussanforderungen mit. Wir empfehlen Ihnen die passende Konfiguration und erstellen Ihnen innerhalb von 24 Stunden ein Angebot.
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