Massendurchflussregler (MFC) Wird zur genauen Messung und Steuerung des Massendurchflusses von Gas verwendet. Der Massendurchflussmesser-Controller kann das Regelventil steuern, um die Durchflussanpassung automatisch abzuschließen. Das Programm steuert das Regelventil, um die automatische Anpassung des Durchflusses abzuschließen. Der Durchflussmesser-Controller zeichnet sich durch geringe Größe, hohe Integration, hohe Genauigkeit und Einstellzeit, einfache Bedienung, stabile Arbeit usw. aus.

Der Durchflussmesser-Controller spielt eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie der Halbleiter- und integrierten Schaltkreisindustrie, speziellen Materialdisziplinen, der chemischen Industrie sowie Industrie, Pharmazie, Umweltschutz und Vakuumlampen. Zu den typischen Anwendungen von Massendurchflussmesser-Controllern gehören elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern und Ionenimplantation; und Beschichtungsausrüstung, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessung, Gaschromatographen und andere Analyseinstrumente.