Регулятор массового расхода (MFC) Используется для точного измерения и контроля массового расхода газа. Контроллер массового расходомера может управлять регулирующим клапаном для автоматического завершения регулировки расхода. Программа управляет регулирующим клапаном для выполнения автоматической регулировки расхода. Контроллер расходомера имеет небольшой размер, высокую степень интеграции, высокую точность и время настройки, прост в использовании, стабильную работу и т. д.

Контроллер расходомера играет важную роль в научных исследованиях и производстве в различных областях, таких как производство полупроводников и интегральных схем, специальные материалы, химическая промышленность, а также промышленность, фармацевтика, защита окружающей среды и вакуумные лампы. Типичные области применения контроллера массового расходомера включают электронное технологическое оборудование, такое как диффузия, эпитаксия, CVD, окисление, плазменное травление, напыление и ионная имплантация; и оборудование для нанесения покрытий, плавка оптического волокна, микрореакционные устройства, системы распределения смешанных газов, капиллярные измерения, газовые хроматографы и другие аналитические приборы.