Contrôleur de débit massique (MFC) Utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique de gaz. Le contrôleur de débitmètre massique peut contrôler la vanne de régulation pour terminer automatiquement le réglage du débit. Le programme contrôle la vanne de régulation pour compléter le réglage automatique du débit. Le contrôleur de débitmètre a une petite taille, une intégration élevée, une haute précision et un temps de réglage, un travail facile à utiliser et stable, etc.

Le contrôleur de débitmètre joue un rôle important dans la recherche scientifique et la production dans divers domaines tels que les industries des semi-conducteurs et des circuits intégrés, les disciplines des matériaux spéciaux, l'industrie chimique et l'industrie, la pharmacie, la protection de l'environnement et les lampes à vide. Les applications typiques du contrôleur de débitmètre massique comprennent les équipements de traitement électronique tels que la diffusion, l'épitaxie, le CVD, l'oxydation, la gravure au plasma, la pulvérisation cathodique et l'implantation ionique ; et équipement de revêtement, fusion de fibres optiques, dispositifs de microréaction, systèmes de distribution de gaz mixtes, mesure capillaire, chromatographes en phase gazeuse et autres instruments analytiques.