Luogo di origine: Shanghai, Cina
Garanzia: 1 Anno
Assistenza personalizzata: OEM, ODM, OBM
Marchio: GN
Numero del modello: CX-GMFM-CXB
Nome prodotto: Controller del flusso di massa del gas ad alta precisione
Precisione: 1%
Alimentazione elettrica: 220VAC/ 24VDC
Applicazione: Misurazione del gas
Comunicazione: RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus
Materiale: SS304/316L
Schermo: LCD digitale
CX-GMFCXB
Controllore del flusso di massa del gas
Controllore del flusso di massa (MFC) Utilizzato per misurare e controllare con precisione il flusso di massa del gas. Svolgono un ruolo importante nella ricerca scientifica e nella produzione in vari campi come l'industria dei semiconduttori e dei circuiti integrati, le discipline dei materiali speciali, l'industria chimica e le lampade industriali, farmaceutiche, di protezione ambientale e a vuoto
Le applicazioni tipiche includono: apparecchiature di processo elettroniche quali diffusione, epitassia, CVD, ossidazione, attacco al plasma, sputtering e impiantazione di ioni; e apparecchiature di rivestimento, fusione di fibre ottiche, dispositivi di microreazione, sistemi di distribuzione di gas misti, misurazione capillare, gascromatografi e altri strumenti analitici.
Parametri del prodotto
Intervallo di flusso | (0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500...) SCCM;(0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500...) SLM |
Alimentazione elettrica | DC+24V |
Linearità | ISO, CE |
Ripetibilità | 0.2% |
Tempo di risposta | Caratteristiche elettriche: Caratteristiche gas 10sec: (1~4) sec |
Campo di pressione differenziale | 0,1~0,5MPa |
Pressione massima | 3mpa |
Temperatura di lavoro | 0~50℃ |
Precisione | 1% |
Media | Gas |
Valore digitale | RS485 MODBUS |
Valore analogico | DC0~5V |
Connessione elettrica | DB15 |
Tasso di perdita | 1×1000000000sccsHe |
Certificato | ISO, CE |
Materiale di base | Acciaio inossidabile 316L |
Materiale di tenuta | FKM, gomma nitrile butadiene, gomma cloroprene |
Mano felice | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8".1/4" 3/8" |
Modello | Intervallo di flusso | Connessione |
CX-F1 | 0~10 cm3 | Connettore da 6 mm |
CX-F2 | 1~100 cm3 | Connettore da 6 mm |
CX-F3 | 0,3~30 mslm | Connettore da 6 mm |
CX-F4 | 1,5~150 mq | Connettore da 10 mm |
CX-F5 | 2,5~250 mq | Connettore da 12 mm |
CX-F6 | 10~1000 mq | Connettore da 12 mm |
CX-F7 | 20~2000 slm | Connettore da 12 mm |
Dettagli del prodotto