Controlador de fluxo de massa (MFC) Usado para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de gás. O controlador do medidor de fluxo de massa pode controlar a válvula reguladora para concluir automaticamente o ajuste de fluxo. O programa controla a válvula reguladora para completar o ajuste automático da vazão. O controlador do medidor de vazão tem tamanho pequeno, alta integração, alta precisão e tempo de ajuste, fácil de usar, trabalho estável, etc.

O controlador do medidor de vazão desempenha um papel importante na pesquisa científica e na produção em vários campos, como indústrias de semicondutores e circuitos integrados, disciplinas de materiais especiais, indústria química e lâmpadas industriais, farmacêuticas, de proteção ambiental e de vácuo. As aplicações típicas do controlador do medidor de fluxo de massa incluem equipamentos de processo eletrônico, como difusão, epitaxia, CVD, oxidação, gravação de plasma, pulverização catódica e implantação de íons; e equipamentos de revestimento, fundição de fibra óptica, dispositivos de microrreação, sistemas mistos de distribuição de gases, medição capilar, cromatógrafos gasosos e outros instrumentos analíticos.