질량 흐름 컨트롤러(MFC) 가스의 질량 흐름을 정확하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 질량 유량계 컨트롤러는 조절 밸브를 제어하여 유량 조정을 자동으로 완료할 수 있습니다. 프로그램은 조절 밸브를 제어하여 흐름의 자동 조정을 완료합니다. 유량계 컨트롤러는 작은 크기, 높은 통합성, 높은 정확도 및 조정 시간, 사용하기 쉽고 안정적인 작업 등을 갖추고 있습니다.
유량계 컨트롤러는 반도체 및 집적 회로 산업, 특수 재료 분야, 화학 산업, 산업, 제약, 환경 보호, 진공 램프 등 다양한 분야의 과학 연구 및 생산에서 중요한 역할을 합니다. 질량 유량계 컨트롤러의 일반적인 응용 분야에는 확산, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 스퍼터링 및 이온 주입과 같은 전자 공정 장비가 포함됩니다. 코팅 장비, 광섬유 제련, 미세 반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 모세관 측정, 가스 크로마토그래프 및 기타 분석 장비.