Controlador de flujo másico (MFC) Se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo másico de gas. El controlador del medidor de flujo másico puede controlar la válvula reguladora para completar automáticamente el ajuste del flujo. El programa controla la válvula reguladora para completar el ajuste automático del flujo. El controlador del medidor de flujo tiene tamaño pequeño, alta integración, alta precisión y tiempo de ajuste, fácil de usar, trabajo estable, etc.

El controlador del medidor de flujo juega un papel importante en la investigación científica y la producción en diversos campos, como las industrias de semiconductores y circuitos integrados, disciplinas de materiales especiales, industria química y lámparas industriales, farmacéuticas, de protección ambiental y de vacío. Las aplicaciones típicas del controlador de medidor de flujo másico incluyen equipos de procesos electrónicos como difusión, epitaxia, CVD, oxidación, grabado con plasma, pulverización e implantación de iones; y equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, dispositivos de microrreacción, sistemas de distribución de gases mixtos, medición capilar, cromatógrafos de gases y otros instrumentos analíticos.