공기/수소/질소 및 기타 가스용 가스 질량 유량 컨트롤러
원산지: 중국 상하이
보증: 1 년
맞춤형 지원: OEM, ODM, OBM
브랜드 이름: GN
모델 번호: CX-GMFM-CXB
제품 이름: 고정밀 가스 질량 흐름 컨트롤러
정확도: 1%
전원 공급 장치: 220VAC/ 24VDC
신청: 가스 측정
의사소통: RS485/ Modbus/RS232/ HART/프로피버스
소재: SS304/316L
디스플레이: LCD 디지털
CX-GMFCXB
가스 질량 흐름 컨트롤러
질량 흐름 컨트롤러(MFC) 가스의 질량 흐름을 정확하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다. 반도체 및 집적 회로 산업, 특수 재료 분야, 화학 산업, 산업, 제약, 환경 보호, 진공 램프 등 다양한 분야의 과학 연구 및 생산에서 중요한 역할을 합니다.
일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다.: 확산, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입 등의 전자 공정 장비; 코팅 장비, 광섬유 제련, 미세 반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 모세관 측정, 가스 크로마토그래프 및 기타 분석 장비.
제품 매개 변수
유량 범위 | (0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500...) SCCM;(0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500...) SLM |
전원 공급 장치 | DC+24V |
선형성 | ISO, CE |
반복성 | 0.2% |
응답 시간 | 전기적 특성: 10초 가스 특성: (1~4)초 |
차압 범위 | 0.1~0.5MPa |
최대 압력 | 3mpa |
작동 온도 | 0~50℃ |
정확도 | 1% |
중간 | 가스 |
디지털 가치 | RS485 MODBUS |
아날로그 값 | DC0~5V |
전기적 연결 | DB15 |
누설률 | 1×1000000000sccs그 |
인증서 | ISO, CE |
베이스의 재질 | 316L 스테인레스 스틸 |
씰 재질 | FKM, 니트릴부타디엔 고무, 클로로프렌 고무 |
기쁜 손 | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8".1/4" 3/8" |
모델 | 유량 범위 | 연결 |
CX-F1 | 0~10sccm | 6mm 커넥터 |
CX-F2 | 1~100sccm | 6mm 커넥터 |
CX-F3 | 0.3~30slm | 6mm 커넥터 |
CX-F4 | 1.5~150slm | 10mm 커넥터 |
CX-F5 | 2.5~250slm | 12mm 커넥터 |
CX-F6 | 10~1000slm | 12mm 커넥터 |
CX-F7 | 20~2000slm | 12mm 커넥터 |
제품 세부 정보
