Gn Flow Meter est l'un des principaux fabricants d'instruments de mesure et de contrôle microfluidiques.
Lieu d'origine: Shangai, Chine
Garantie: 1 Année
Support personnalisé: OEM, ODM, OBM
Nom de marque: GN
Numéro de modèle: CX-GMFM-CXB
Nom du produit: Contrôleur de débit massique de gaz de haute précision
Précision: 1%
Alimentation d'énergie: 220VAC/ 24VDC
Application: Mesurer le gaz
Communication: RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus
Matériel: SS304/316L
Affichage: LCD numérique
CX-GMFCXB
Contrôleur de débit massique de gaz
Contrôleur de débit massique (MFC) Utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique de gaz. Ils jouent un rôle important dans la recherche scientifique et la production dans divers domaines tels que les industries des semi-conducteurs et des circuits intégrés, les disciplines des matériaux spéciaux, l'industrie chimique et l'industrie, la pharmacie, la protection de l'environnement et les lampes à vide.
Les applications typiques incluent: les équipements de traitement électronique tels que la diffusion, l'épitaxie, le CVD, l'oxydation, la gravure au plasma, la pulvérisation cathodique et l'implantation ionique ; et équipement de revêtement, fusion de fibres optiques, dispositifs de microréaction, systèmes de distribution de gaz mixtes, mesure capillaire, chromatographes en phase gazeuse et autres instruments analytiques.
Paramètres du produit
Plage de débit | (0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500...) SCCM;(0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500...) SLM |
Alimentation d'énergie | DC+24V |
Linéarité | ISO, CE |
Répétabilité | 0.2% |
Temps de réponse | Caractéristiques électriques : 10 s Caractéristiques du gaz : (1 ~ 4) s |
Plage de pression différentielle | 0,1 ~ 0,5MPa |
Pression maximale | 3amp |
Température de travail | 0~50℃ |
Précision | 1% |
Moyen | Gaz |
Valeur numérique | RS485 MODBUS |
Valeur analogique | DC0~5V |
Connexion électrique | DB15 |
Taux de fuite | 1×1000000000sccsIl |
Certificat | ISO, CE |
Matériau du socle | Acier inoxydable 316L |
Matériau du joint | FKM, caoutchouc nitrile butadiène, caoutchouc chloroprène |
Main heureuse | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8".1/4" 3/8" |
Modèle | Gamme d'écoulement | Connexion |
CX-F1 | 0~10sccm | connecteur 6 mm |
CX-F2 | 1 ~ 100 sccm | connecteur 6 mm |
CX-F3 | 0,3 ~ 30 ml | connecteur 6 mm |
CX-F4 | 1,5 ~ 150 slm | connecteur 10 mm |
CX-F5 | 2,5 ~ 250 ml | connecteur 12 mm |
CX-F6 | 10~1000lm | connecteur 12 mm |
CX-F7 | 20~2000lm | connecteur 12 mm |
Détails du produit