Gasmassendurchflussregler für Luft/Wasserstoff/Stickstoff und andere Gase
Ursprungs ort: Shanghai, China
Garantie: 1 Jahr
Maßgeschneiderte Unterstützung: OEM, ODM, OBM
Markenname: GN
Modellnummer: CX-GMFM-CXB
Produktname: Hochpräziser Gasmassendurchflussregler
Genauigkeit: 1%
Strom versorgung: 220VAC/ 24VDC
Anwendung: Gas messen
Kommunikation: RS485/Modbus/RS232/HART/Profibus
Material: SS304/316L
Anzeige: LCD-Digital
CX-GMFCXB
Gasmassendurchflussregler
Massendurchflussregler (MFC) Wird zur genauen Messung und Steuerung des Massendurchflusses von Gas verwendet. Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie der Halbleiter- und integrierten Schaltkreisindustrie, speziellen Materialdisziplinen, der chemischen Industrie sowie Industrie-, Pharma-, Umweltschutz- und Vakuumlampen
Zu den typischen Anwendungen gehören:: elektronische Prozessausrüstung wie Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern und Ionenimplantation; und Beschichtungsausrüstung, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessung, Gaschromatographen und andere Analyseinstrumente.
Produkt parameter
Durchflussbereich | (0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500...) SCCM;(0~1, 2, 3, 5, 10, 50, 100, 200, 500...) SLM |
Strom versorgung | DC+24V |
Linearität | ISO, CE |
Wiederholbarkeit | 0.2% |
Reaktionszeit | Elektrische Eigenschaften: 10 Sek. Gaseigenschaften: (1~4) Sek |
Differenzdruckbereich | 0,1 ~ 0,5 MPa |
maximaler Druck | 3mpa |
Arbeitstemperatur | 0~50℃ |
Genauigkeit | 1% |
Mittel | Gas |
Digitaler Wert | RS485 MODBUS |
Analoger Wert | DC0~5V |
Elektrische Verbindung | DB15 |
Leckrate | 1×1000000000sccsHe |
Zertifikat | ISO, CE |
Material der Basis | Edelstahl 316L |
Dichtungsmaterial | FKM, Nitril-Butadien-Kautschuk, Chloropren-Kautschuk |
Fröhliche Hand | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8".1/4" 3/8" |
Modell | Durchflussbereich | Verbindung |
CX-F1 | 0~10 sccm | 6-mm-Stecker |
CX-F2 | 1~100 sccm | 6-mm-Stecker |
CX-F3 | 0,3~30slm | 6-mm-Stecker |
CX-F4 | 1,5 ~ 150 slm | 10-mm-Stecker |
CX-F5 | 2,5~250slm | 12-mm-Stecker |
CX-F6 | 10~1000slm | 12-mm-Stecker |
CX-F7 | 20~2000slm | 12-mm-Stecker |
Produkt details
