Gn Flow Meter è un produttore leader di strumenti di misurazione e controllo microfluidici.
Regolatore di flusso di massa F1 (MFC)
Quando il flusso di gas deve essere preciso
I regolatori di flusso di massa non sono accessori opzionali. Sono il fondamento della ripetibilità del processo.
Troppo gas: spreco di materiale, condizioni di lavoro non sicure, wafer rovinati.
Quantità insufficiente di gas: reazioni incomplete, esperimenti falliti, risultati incoerenti.
ILF1 è stato costruito per eliminare tale incertezza.
Misura e controlla direttamente il flusso di massa del gas, non il volume, non la pressione. Massa. L'unica misura che conta quando temperatura e pressione fluttuano.
Progettato per le applicazioni a gas più esigenti
| Il tuo cappello | Risposta F1 |
|---|---|
| Flusso ultra-basso | Intervallo 0~10 sccm – controllo preciso su scala micro |
| Alta pressione | Pressione di esercizio di 3 MPa – gestisce forniture di gas pressurizzato |
| Gas corrosivi | Base in acciaio inox 316L – compatibile con gas reattivi e speciali |
| Cambiamenti rapidi del processo | Risposta rapida: si adatta alle fasi dinamiche del processo. |
| Vincoli di spazio | Dimensioni ridotte: si adattano a pannelli a gas compatti e apparecchiature OEM. |
| Integrazione di sistema | Alimentazione CC +15V/24V, uscita analogica 0~5V / 4~20mA – direttamente al controller |
| Diverse opzioni di montaggio | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatibile con l'impianto idraulico esistente |
Perché il flusso di massa e non il flusso di volume?
La maggior parte dei flussimetri misura il volume. Ma il volume del gas varia con la temperatura e la pressione.
La portata di massa non cambia. Un grammo di gas è un grammo di gas, che si trovi in un laboratorio freddo o in un reattore caldo.
Ecco perché i regolatori di flusso di massa sono lo standard in:
Produzione di semiconduttori : dove la ripetibilità del processo determina la resa
Ricerca chimica : dove la stechiometria della reazione deve essere esatta.
Produzione farmaceutica : dove la conformità normativa richiede la tracciabilità.
Monitoraggio ambientale : dove i gas di calibrazione devono essere precisi
Specifiche principali
| Parametro | Valore |
|---|---|
| Modello | F1 |
| Precisione | 0,5% |
| Gamma di flusso | 0 ~ 10 sccm |
| Pressione di lavoro | 3 MPa |
| Materiale di base | Acciaio inossidabile 316L |
| Alimentazione elettrica | DC +15V / 24V |
| Uscita analogica | CC 0~5V / 4~20mA |
| Accessori | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" |
| Principio di misurazione | Flusso di massa (termico) |
Applicazioni tipiche
Semiconduttori e circuiti integrati
Diffusione, epitassia, CVD, ossidazione, incisione al plasma, sputtering, impiantazione ionica: ogni fase del processo dipende da un'erogazione precisa del gas.
Materiali speciali e rivestimenti
Fusione di fibre ottiche, deposizione di film sottili, target per sputtering: dove la composizione del gas determina le proprietà del materiale.
Chimica e petrolchimica
Dispositivi per microreazioni, sistemi di distribuzione di gas misti, ricerca sui catalizzatori: dove la stechiometria deve essere esatta.
Strumenti analitici
Cromatografi a gas, misurazione capillare, sistemi di calibrazione: dove gli standard di riferimento richiedono precisione.
Farmaceutico e ambientale
Controllo del processo di fermentazione, monitoraggio delle emissioni, miscelazione del gas di calibrazione: dove conformità e sicurezza non sono negoziabili.
Aspirapolvere e illuminazione
Lampade a vuoto, illuminazione speciale, processi al plasma: dove la purezza del gas e la stabilità del flusso sono fondamentali.
Cosa distingue la F1?
| Caratteristica | Cosa significa per te |
|---|---|
| Precisione dello 0,5% | Il tuo processo è ripetibile: lotto dopo lotto, esecuzione dopo esecuzione |
| intervallo 0~10 sccm | Controllo del microflusso per processi delicati e reazioni su piccola scala |
| costruzione 316L | Compatibile con gas corrosivi, reattivi e ad elevata purezza. |
| Risposta rapida | Riesce a stare al passo con i rapidi cambiamenti di processo e i requisiti di flusso pulsato |
| Bassa caduta di pressione | Riduce al minimo i requisiti di pressione di alimentazione e consente di risparmiare energia. |
| Dimensioni compatte | Facile integrazione nelle apparecchiature OEM e negli aggiornamenti |
| Diverse opzioni di montaggio | Si collega al sistema esistente senza bisogno di adattatori. |
Una domanda
Preferiresti indovinare il tuo flusso di gas o conoscerlo con precisione?
Andare a tentoni porta agli scarti. Andare a tentoni porta a esperimenti falliti. Andare a tentoni porta a risultati normativi.
La conoscenza porta alla ripetibilità. La conoscenza porta alla resa. La conoscenza porta alla fiducia.
La F1 ti fornisce il numero di cui ti puoi fidare.
Pronti a scegliere il modello F1 per il vostro impianto a gas?
Contattaci indicando il tipo di gas, la portata, la pressione e le esigenze di raccordo. Verificheremo la compatibilità e ti forniremo un preventivo entro 24 ore.
