Gn Flow Meter est l'un des principaux fabricants d'instruments de mesure et de contrôle microfluidiques.
Régulateur de débit massique F1 (MFC)
Lorsque le débit de gaz doit être précis
Les régulateurs de débit massique ne sont pas des accessoires optionnels. Ils constituent le fondement de la répétabilité des processus.
Trop de gaz – gaspillage de matière, conditions dangereuses, plaquettes endommagées.
Quantité de gaz insuffisante – réactions incomplètes, expériences infructueuses, résultats incohérents.
LeF1 a été conçu pour éliminer cette incertitude.
Il mesure et contrôle directement le débit massique de gaz – ni le volume, ni la pression. La masse. La seule mesure qui compte lorsque la température et la pression fluctuent.
Conçu pour les applications gazières les plus exigeantes
| Votre défi | Réponse F1 |
|---|---|
| Débit ultra-faible | Plage de débit de 0 à 10 sccm – contrôle précis à l'échelle micrométrique |
| Haute pression | Pression de service de 3 MPa – supporte les alimentations en gaz sous pression |
| Gaz corrosifs | Socle en acier inoxydable 316L – compatible avec les gaz réactifs et spéciaux |
| Changements rapides du processus | Réponse rapide – s'adapte aux étapes de processus dynamiques |
| Contraintes d'espace | Format compact – s'intègre aux panneaux à gaz compacts et aux équipements d'origine |
| Intégration de systèmes | Alimentation CC +15 V/24 V, sortie analogique 0~5 V / 4~20 mA – connexion directe à votre contrôleur |
| Plusieurs options d'ajustement | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatible avec votre plomberie existante |
Pourquoi un débit massique et non un débit volumique ?
La plupart des débitmètres mesurent un volume. Or, le volume d'un gaz varie en fonction de la température et de la pression.
Le débit massique reste constant. Un gramme de gaz est un gramme de gaz, qu'il se trouve dans un laboratoire froid ou dans un réacteur chaud.
C’est pourquoi les régulateurs de débit massique sont la norme dans :
Fabrication de semi-conducteurs – où la répétabilité du processus détermine le rendement
Recherche chimique – où la stœchiométrie des réactions doit être exacte
Production pharmaceutique – où la conformité réglementaire exige la traçabilité
Surveillance environnementale – où les gaz d'étalonnage doivent être précis
Caractéristiques principales
| Paramètre | Valeur |
|---|---|
| Modèle | F1 |
| Précision | 0,5% |
| Plage de débit | 0 à 10 sccm |
| Pression de service | 3 MPa |
| Matériau de base | Acier inoxydable 316L |
| Alimentation | DC +15V / 24V |
| Sortie analogique | CC 0~5 V / 4~20 mA |
| Raccords | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" |
| Principe de mesure | Débit massique (thermique) |
Applications typiques
Semiconducteurs et circuits intégrés
Diffusion, épitaxie, CVD, oxydation, gravure plasma, pulvérisation cathodique, implantation ionique – chaque étape du processus dépend d'un apport précis de gaz.
Matériaux spéciaux et revêtements
Fusion de fibres optiques, dépôt de couches minces, cibles de pulvérisation cathodique – où la composition du gaz détermine les propriétés des matériaux.
Chimie et pétrochimie
Dispositifs de microréaction, systèmes de distribution de gaz mixtes, recherche sur les catalyseurs – autant de domaines où la stœchiométrie doit être exacte.
Instruments analytiques
Chromatographes en phase gazeuse, mesures capillaires, systèmes d'étalonnage – là où les normes de référence exigent de la précision.
Pharmaceutique et environnementale
Contrôle des procédés de fermentation, surveillance des émissions, mélange de gaz d'étalonnage – des domaines où la conformité et la sécurité sont non négociables.
Aspirateur et éclairage
Lampes à vide, éclairages spéciaux, procédés plasma – domaines où la pureté du gaz et la stabilité du flux sont essentielles.
Ce qui distingue la F1
| Fonctionnalité | Ce que cela signifie pour vous |
|---|---|
| précision de 0,5 % | Votre processus est reproductible – lot après lot, exécution après exécution |
| Plage de 0 à 10 sccm | Contrôle de microdébit pour les procédés délicats et les réactions à petite échelle |
| Construction en acier inoxydable 316L | Compatible avec les gaz corrosifs, réactifs et de haute pureté |
| Réponse rapide | Permet de s'adapter aux changements de processus rapides et aux exigences de débit pulsé |
| chute de pression faible | Réduit les besoins en pression d'alimentation et permet d'économiser de l'énergie. |
| Format compact | Intégration facile aux équipements et mises à niveau d'origine |
| Plusieurs options d'ajustement | Se connecte à votre système existant sans adaptateurs. |
Une question
Préféreriez-vous deviner votre débit de gaz ou le connaître précisément ?
Les suppositions mènent à l'échec. Les suppositions mènent à des expériences ratées. Les suppositions mènent à des conclusions réglementaires.
Le savoir permet de reproduire les mêmes choses. Le savoir permet d'obtenir de meilleurs résultats. Le savoir permet d'avoir confiance.
La F1 vous donne le chiffre auquel vous pouvez vous fier.
Prêt à spécifier le F1 pour votre système à gaz ?
Veuillez nous indiquer le type de gaz, le débit, la pression et les raccords nécessaires. Nous vérifierons la compatibilité et vous fournirons un devis sous 24 heures.
