Gn Flow Meter — ведущий производитель микрофлюидных приборов для измерения и контроля.
F1 Массовый расходомер (MFC)
Когда требуется точный расчет потока газа
Регуляторы массового расхода — это не дополнительные устройства. Они являются основой для обеспечения воспроизводимости процесса.
Избыток газа – потери материала, небезопасные условия, испорченные вафли.
Недостаток газа – неполные реакции, неудачные эксперименты, противоречивые результаты.
ОнF1 Он был создан для устранения этой неопределенности.
Он измеряет и контролирует массовый поток газа напрямую – не объем и не давление. Масса. Единственное измерение, имеющее значение при колебаниях температуры и давления.
Создан для самых требовательных газовых применений.
| Ваше задание | Ответ F1 |
|---|---|
| Сверхнизкий расход | Диапазон 0–10 sccm – точное управление в микромасштабе. |
| Высокое давление | Рабочее давление 3 МПа – подходит для работы с подачей газа под давлением. |
| Коррозионные газы | Основание из нержавеющей стали 316L – совместимо с реактивными и специальными газами. |
| Быстрые изменения процессов | Быстрая реакция – отслеживает динамические этапы процесса. |
| Ограничения по площади | Компактный размер – подходит для компактных газовых панелей и оборудования OEM. |
| Системная интеграция | Питание от сети постоянного тока +15 В/24 В, аналоговый выход 0~5 В / 4~20 мА – напрямую к контроллеру. |
| Различные варианты крепления | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – подходит к вашей существующей сантехнике. |
Почему важен массовый, а не объемный расход?
Большинство расходомеров измеряют объем. Но объем газа изменяется в зависимости от температуры и давления.
Массовый поток не меняется. Грамм газа остаётся граммом газа — будь то в холодной лаборатории или в горячем реакторе.
Вот почему регуляторы массового расхода являются стандартом в:
Производство полупроводников – где повторяемость процесса определяет выход годной продукции.
Химические исследования – где стехиометрия реакций должна быть точной.
Фармацевтическое производство – где соблюдение нормативных требований требует отслеживаемости.
Экологический мониторинг – где требуется точная калибровка газов.
Основные характеристики
| Параметр | Ценить |
|---|---|
| Модель | F1 |
| Точность | 0,5% |
| Диапазон расхода | 0 ~ 10 sccm |
| Рабочее давление | 3 МПа |
| Базовый материал | Нержавеющая сталь 316L |
| Источник питания | DC +15V / 24V |
| Аналоговый выход | DC 0~5V / 4~20mA |
| Фитинги | 3/6/10/1/8"/1/4"/3/8" |
| Принцип измерения | Массовый расход (тепловой) |
Типичные области применения
Полупроводниковые и интегральные схемы
Диффузия, эпитаксия, химическое осаждение из газовой фазы, окисление, плазменное травление, распыление, ионная имплантация – каждый этап процесса зависит от точной подачи газа.
Специальные материалы и покрытия
Выплавка оптического волокна, осаждение тонких пленок, напыление мишеней – где состав газа определяет свойства материала.
Химическая и нефтехимическая промышленность
Микрореакционные устройства, системы распределения смешанных газов, исследования катализаторов – где стехиометрия должна быть точной.
Аналитические приборы
Газовые хроматографы, капиллярные измерения, калибровочные системы – там, где эталонные стандарты требуют точности.
Фармацевтическая и экологическая
Контроль процесса ферментации, мониторинг выбросов, калибровка газовых смесей – где соответствие нормативным требованиям и безопасность не подлежат обсуждению.
Пылесос и освещение
Вакуумные лампы, специальное освещение, плазменные процессы – там, где важны чистота газа и стабильность потока.
Что отличает Формулу-1 от других?
| Особенность | Что это значит для вас |
|---|---|
| точность 0,5% | Ваш процесс воспроизводим – партия за партией, запуск за запуском. |
| Диапазон 0–10 sccm | Микропотоковое управление для деликатных процессов и реакций в малом масштабе. |
| конструкция из стали 316L | Совместим с коррозионными, реактивными и высокочистыми газами. |
| Быстрый ответ | Обеспечивает совместимость с быстрыми изменениями технологических процессов и требованиями к импульсному потоку. |
| Низкий перепад давления | Снижает требования к давлению подачи и экономит энергию. |
| Компактный размер | Простая интеграция в оборудование OEM и модернизация |
| Различные варианты крепления | Подключается к вашей существующей системе без адаптеров. |
Один вопрос
Вы бы предпочли угадывать расход газа или знать его?
Догадки приводят к браку. Догадки приводят к неудачным экспериментам. Догадки приводят к проблемам с регулированием.
Знание ведет к повторяемости. Знание ведет к результату. Знание ведет к уверенности.
Формула-1 предоставляет вам данные, которым можно доверять.
Готовы выбрать F1 для вашей газовой системы?
Свяжитесь с нами, указав тип газа, диапазон расхода, давление и необходимые фитинги. Мы подтвердим совместимость и предоставим ценовое предложение в течение 24 часов.
