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Controlador de Fluxo de Massa F1 (MFC)

Controlador de Fluxo de Massa F1 (MFC) 1Controlador de Fluxo de Massa F1 (MFC) 2

Quando o fluxo de gás precisa ser exato

Controladores de fluxo de massa não são acessórios opcionais. Eles são a base da repetibilidade do processo.

Excesso de gás – desperdício de material, condições inseguras, wafers danificados.
Pouco gás – reações incompletas, experimentos falhos, resultados inconsistentes.

OF1 Foi criado para eliminar essa incerteza.

Ele mede e controla diretamente o fluxo de massa de gás – não o volume, não a pressão. Massa. A única medida que importa quando a temperatura e a pressão flutuam.


Projetado para as aplicações de gás mais exigentes.

Seu desafio Resposta F1
Fluxo ultrabaixo Faixa de 0 a 10 sccm – controle preciso em microescala
Alta pressão Pressão de trabalho de 3 MPa – suporta suprimentos de gás pressurizado
Gases corrosivos Base em aço inoxidável 316L – compatível com gases reativos e especiais.
Mudanças rápidas no processo Resposta rápida – acompanha as etapas dinâmicas do processo.
Restrições de espaço Tamanho compacto – ideal para painéis de gás compactos e equipamentos OEM.
Integração de sistemas Alimentação CC +15V/24V, saída analógica 0~5V / 4~20mA – diretamente para o seu controlador.
Múltiplas opções de ajuste Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – compatível com seu encanamento existente

Por que fluxo de massa – e não fluxo de volume?

A maioria dos medidores de vazão mede o volume. Mas o volume do gás varia com a temperatura e a pressão.

O fluxo de massa não muda. Um grama de gás é um grama de gás – esteja ele em um laboratório frio ou em um reator quente.

É por isso que os controladores de fluxo de massa são o padrão em:

  • Fabricação de semicondutores – onde a repetibilidade do processo determina o rendimento.

  • Pesquisa química – onde a estequiometria da reação deve ser exata.

  • Produção farmacêutica – onde a conformidade regulamentar exige rastreabilidade

  • Monitoramento ambiental – onde a precisão dos gases de calibração é essencial.


Especificações principais

Parâmetro Valor
ModeloF1
Precisão 0,5%
Faixa de fluxo 0 ~ 10 sccm
Pressão de trabalho 3 MPa
Material base Aço inoxidável 316L
Fonte de energiaDC +15V / 24V
Saída analógica CC 0~5V / 4~20mA
Acessórios Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8"
Princípio de Medição Fluxo de massa (térmico)

Aplicações típicas

Semicondutores e Circuitos Integrados

Difusão, epitaxia, CVD, oxidação, gravação a plasma, pulverização catódica, implantação iônica – cada etapa do processo depende do fornecimento preciso de gás.

Materiais e Revestimentos Especiais

Fundição de fibra óptica, deposição de filmes finos, alvos de pulverização catódica – processos em que a composição do gás determina as propriedades do material.

Química e Petroquímica

Dispositivos de microrreação, sistemas de distribuição de gases mistos, pesquisa de catalisadores – onde a estequiometria deve ser exata.

Instrumentos Analíticos

Cromatógrafos gasosos, medições capilares, sistemas de calibração – onde os padrões de referência exigem precisão.

Farmacêutica e Ambiental

Controle do processo de fermentação, monitoramento de emissões, mistura de gases de calibração – onde a conformidade e a segurança são imprescindíveis.

Aspirador e Iluminação

Lâmpadas de vácuo, iluminação especializada, processos de plasma – onde a pureza do gás e a estabilidade do fluxo são importantes.


O que diferencia o F1

Recurso O que isso significa para você
Precisão de 0,5% Seu processo é repetível – lote após lote, execução após execução.
Faixa de 0 a 10 sccm Controle de microfluxo para processos delicados e reações em pequena escala.
Construção em aço inoxidável 316L Compatível com gases corrosivos, reativos e de alta pureza.
Resposta rápida Acompanha as rápidas mudanças de processo e os requisitos de fluxo pulsado.
Baixa queda de pressão Minimiza os requisitos de pressão de alimentação e economiza energia.
Tamanho compacto Fácil integração em equipamentos OEM e adaptações.
Múltiplas opções de ajuste Conecta-se ao seu sistema existente sem adaptadores.

Uma pergunta

Você prefere adivinhar o fluxo de gás ou saber qual é ele?

Adivinhar leva ao desperdício. Adivinhar leva a experimentos fracassados. Adivinhar leva a descobertas regulatórias.

Conhecimento leva à repetibilidade. Conhecimento leva à produtividade. Conhecimento leva à confiança.

O F1 fornece o número em que você pode confiar.


Pronto para especificar o F1 para o seu sistema de gás?

Entre em contato conosco informando o tipo de gás, a faixa de vazão, a pressão e os requisitos de conexão. Confirmaremos a compatibilidade e forneceremos um orçamento em até 24 horas.

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