F1 Massenstromregler (MFC)
Wenn der Gasdurchfluss exakt sein muss
Massendurchflussregler sind kein optionales Zubehör. Sie sind die Grundlage für die Wiederholbarkeit von Prozessen.
Zu viel Gas – Materialverschwendung, unsichere Bedingungen, unbrauchbare Waffeln.
Zu wenig Gas – unvollständige Reaktionen, fehlgeschlagene Experimente, inkonsistente Ergebnisse.
DerF1 wurde entwickelt, um diese Unsicherheit zu beseitigen.
Es misst und regelt den Gasmassenstrom direkt – nicht das Volumen, nicht den Druck. Masse. Die einzige Messgröße, die zählt, wenn Temperatur und Druck schwanken.
Konzipiert für die anspruchsvollsten Gasanwendungen
| Ihre Herausforderung | F1-Antwort |
|---|---|
| Extrem niedriger Durchfluss | 0–10 sccm Bereich – präzise Steuerung im Mikromaßstab |
| Hochdruck | 3 MPa Betriebsdruck – geeignet für Druckgasversorgung |
| Ätzende Gase | Sockel aus Edelstahl 316L – kompatibel mit reaktiven und Spezialgasen |
| Schnelle Prozessänderungen | Schnelle Reaktion – hält mit dynamischen Prozessschritten Schritt. |
| Platzmangel | Kompakte Bauform – passt in kompakte Gasanlagen und OEM-Geräte |
| Systemintegration | Gleichstromversorgung +15V/24V, 0~5V / 4~20mA analoger Ausgang – direkt an Ihren Controller |
| Mehrere Montageoptionen | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" – passend zu Ihrer bestehenden Verrohrung |
Warum Massenstrom – und nicht Volumenstrom?
Die meisten Durchflussmesser messen das Volumen. Das Gasvolumen ändert sich jedoch mit der Temperatur und dem Druck.
Der Massenstrom ändert sich nicht. Ein Gramm Gas ist ein Gramm Gas – egal ob in einem kalten Labor oder einem heißen Reaktor.
Deshalb sind Massenflussregler der Standard in folgenden Bereichen:
Halbleiterfertigung – wo die Prozesswiederholbarkeit die Ausbeute bestimmt
Chemische Forschung – wo die Reaktionsstöchiometrie exakt sein muss
Pharmazeutische Produktion – wo die Einhaltung gesetzlicher Vorschriften Rückverfolgbarkeit erfordert
Umweltüberwachung – wo Kalibriergase präzise sein müssen
Wichtigste Spezifikationen
| Parameter | Wert |
|---|---|
| Modell | F1 |
| Genauigkeit | 0,5 % |
| Durchflussbereich | 0 ~ 10 sccm |
| Betriebsdruck | 3 MPa |
| Grundmaterial | Edelstahl 316L |
| Stromversorgung | DC +15V / 24V |
| Analogausgang | Gleichstrom 0~5V / 4~20mA |
| Armaturen | Φ3 / Φ6 / Φ10 / 1/8" / 1/4" / 3/8" |
| Messprinzip | Massenstrom (thermisch) |
Typische Anwendungen
Halbleiter und integrierte Schaltungen
Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern, Ionenimplantation – jeder Prozessschritt ist auf eine präzise Gaszufuhr angewiesen.
Spezielle Werkstoffe und Beschichtungen
Optische Faserherstellung, Dünnschichtabscheidung, Sputtertargets – wo die Gaszusammensetzung die Materialeigenschaften bestimmt.
Chemie und Petrochemie
Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Katalysatorforschung – wo die Stöchiometrie exakt sein muss.
Analytische Instrumente
Gaschromatographen, Kapillarmessung, Kalibriersysteme – überall dort, wo Referenzstandards Genauigkeit erfordern.
Pharmazeutische und Umwelt
Prozesskontrolle bei der Fermentation, Emissionsüberwachung, Kalibriergasmischung – wo Konformität und Sicherheit nicht verhandelbar sind.
Vakuum und Beleuchtung
Vakuumlampen, Spezialbeleuchtung, Plasmaverfahren – wo Gasreinheit und Strömungsstabilität entscheidend sind.
Was die Formel 1 auszeichnet
| Besonderheit | Was das für Sie bedeutet |
|---|---|
| 0,5 % Genauigkeit | Ihr Prozess ist wiederholbar – Charge für Charge, Durchlauf für Durchlauf |
| 0~10 sccm Bereich | Mikroflusskontrolle für heikle Prozesse und Reaktionen im kleinen Maßstab |
| 316L-Konstruktion | Kompatibel mit korrosiven, reaktiven und hochreinen Gasen |
| Schnelle Reaktion | Hält mit schnellen Prozessänderungen und Anforderungen an pulsierende Durchflüsse Schritt. |
| Niedriger Druckabfall | Minimiert den Versorgungsdruckbedarf und spart Energie |
| Kompakte Größe | Einfache Integration in OEM-Geräte und Nachrüstungen |
| Mehrere Montageoptionen | Lässt sich ohne Adapter an Ihr bestehendes System anschließen. |
Eine Frage
Würden Sie Ihren Gasdurchfluss lieber schätzen oder ihn genau kennen?
Raten führt zu Ausschuss. Raten führt zu gescheiterten Experimenten. Raten führt zu behördlichen Beanstandungen.
Wissen führt zu Wiederholbarkeit. Wissen führt zu Ertrag. Wissen führt zu Vertrauen.
Die Formel 1 liefert Ihnen eine Zahl, der Sie vertrauen können.
Sind Sie bereit, den F1 für Ihr Gassystem zu spezifizieren?
Teilen Sie uns bitte Ihre Gasart, den Durchflussbereich, den Druck und Ihre Anschlussanforderungen mit. Wir prüfen die Kompatibilität und erstellen Ihnen innerhalb von 24 Stunden ein Angebot.
