Einführung Der diffundierte Silizium-Drucksensor Der piezoresistive Drucksensor nutzt den piezoresistiven Effekt von monokristallinem Silizium. Mittels Diffusionstechnologie wird auf einer Siliziummembran eine Wheatstone-Brücke erzeugt, die die druckbedingte Verformung in elektrische Signale umwandelt. Dank hoher Empfindlichkeit, hoher Genauigkeit, kompakter Bauweise und geringer Kosten zählt er zu den am weitesten verbreiteten Drucksensoren in der industriellen Automatisierung. Dieser Artikel beschreibt sein Funktionsprinzip, seine wichtigsten Merkmale, Vorteile, Nachteile und Anwendungsgebiete.

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Einführung: Ein Drucksensor Ein Piezo-Sensor wandelt Drucksignale in elektrische Signale um. Er findet breite Anwendung in der industriellen Steuerungstechnik, in Medizingeräten und in der Automobilelektronik. Sein Funktionsprinzip basiert auf dem piezoresistiven bzw. kapazitiven Effekt. Dank seiner schnellen Reaktionszeit und hohen Genauigkeit ist er eine Schlüsselkomponente moderner intelligenter Sensorsysteme.