Gn Flow Meter는 미세유체 측정 및 제어 장비 분야의 선도적인 제조업체입니다.

0-50L/Min 마이크로 고정밀 가스 질량 흐름 컨트롤러

MFC-UT 시리즈 질량유량제어기(MFC)는 산업 기반으로 개발된 컴팩트한 제품입니다.’고속 샘플링 처리 기술과 디지털 보상 알고리즘이 결합된 고급 MEMS 유량 센서 칩입니다. 이 제품에는 수입 전자기 비례 밸브, 316L 스테인레스 스틸 가스 시트 및 고정밀 MEMS 흐름 칩 등이 장착되어 있습니다. 초고집적화로 제품 크기가 절반으로 줄어들어 공간 요구사항이 엄격한 설치 장소에 더 잘 적용할 수 있습니다.

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특징

넓은 측정 범위	마이크로	높은 정밀도
낮은 압력 강하	작은 크기	빠른 반응

기술 데이터

모델 번호: /	전압: DC24V，주름 ≤50mv
정도: ±1%F.S	작동 온도: 0~50℃
흐름 범위: 0~20SLM	작업 압력: 0~1MPa
해상도: 최저 0.01SCCM	응답 시간: ≤1S

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