Régulateur de débit massique de gaz série MFM-50
Le débitmètre massique (MFM) de la série MFM-50 est utilisé pour la mesure de haute précision du débit de gaz. La série de MFM est basée sur la puce de capteur de débit MEMS avancée de l'industrie et le canal d'écoulement de gaz poli en aluminium aéronautique, combinés à un algorithme d'étalonnage et de compensation de base, adaptés à la détection de haute précision d'une variété de gaz propres et secs. Sa précision typique est de ± 1,5 %, le rapport de la plage de mesure est meilleur que 500 : 1 et la plage peut être personnalisée (de 50 SCCM à 300 SLM). De plus, la série MFM-50 est équipée d'un écran LCD et d'une sortie numérique, ce qui permet aux utilisateurs de déboguer facilement sur site et à distance. Le produit est peu coûteux, facile à installer et ne nécessite pas de compensation de température et de pression