MFM-50 시리즈 가스 질량 흐름 컨트롤러
MFM-50 시리즈 질량 유량계(MFM)는 가스 흐름의 고정밀 측정에 사용됩니다. MFM 시리즈는 업계의 첨단 MEMS 유량 센서 칩과 항공 알루미늄 연마 가스 흐름 채널을 기반으로 하며 핵심 교정 및 보상 알고리즘과 결합되어 다양한 깨끗하고 건조한 가스의 고정밀 감지에 적합합니다. 일반적인 정밀도는 ±1.5%이고 측정 범위 비율은 500:1보다 좋으며 범위는 사용자 정의할 수 있습니다(50 SCCM ~ 300 SLM). 또한 MFM-50 시리즈에는 LCD 디스플레이와 디지털 출력이 장착되어 있어 사용자가 현장 및 원격으로 디버그하는 데 편리합니다. 가격이 저렴하고 설치가 용이하며 온도 및 압력 보상이 필요하지 않은 제품
5.0
처럼
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특징
| 넓은 측정 범위 | 마이크로 | 높은 정밀도 |
| 낮은 압력 강하 | 작은 크기 | 빠른 반응 |
기술 데이터
| 모델 번호: / | 현재 신호: 4-20mA |
정확도: ±1.5% F.S | 반복성: 0.25% |
흐름 범위: 0~100SLM | 범위 비율: 500：1 |
유량 및 압력 손실: <100아빠 | 압력: 0~0.6MPa |
다운로드
마이크로 가스 질량 유량계
날짜형식 P D F
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