Gasmassendurchflussregler der MFM-50-Serie
Der Massendurchflussmesser (MFM) der Serie MFM-50 wird für die hochpräzise Messung des Gasdurchflusses verwendet. Die MFM-Serie basiert auf dem branchenweit fortschrittlichen MEMS-Durchflusssensorchip und dem polierten Gasströmungskanal aus Luftfahrtaluminium, kombiniert mit einem Kernkalibrierungs- und Kompensationsalgorithmus, geeignet für die hochpräzise Erkennung einer Vielzahl von sauberen und trockenen Gasen. Die typische Genauigkeit beträgt ±1,5 %, das Messbereichsverhältnis ist besser als 500:1 und der Bereich kann individuell angepasst werden (von 50 SCCM bis 300 SLM). Darüber hinaus ist die MFM-50-Serie mit einem LCD-Display und einem digitalen Ausgang ausgestattet, sodass Benutzer bequem vor Ort und aus der Ferne Fehler beheben können. Das Produkt ist kostengünstig, einfach zu installieren und erfordert keinen Temperatur- und Druckausgleich