Controlador de flujo másico de gas serie MFM-50
El medidor de flujo másico (MFM) de la serie MFM-50 se utiliza para medir el flujo de gas con alta precisión. La serie de MFM se basa en el chip sensor de flujo MEMS avanzado de la industria y el canal de flujo de gas pulido de aluminio de aviación, combinado con un algoritmo de compensación y calibración del núcleo, adecuado para la detección de alta precisión de una variedad de gases limpios y secos. Su precisión típica es de ±1,5%, la relación del rango de medición es mejor que 500:1 y el rango se puede personalizar (de 50 SCCM a 300 SLM). Además, la serie MFM-50 está equipada con una pantalla LCD y salida digital, lo que resulta conveniente para que los usuarios realicen depuraciones in situ y de forma remota. El producto es de bajo costo, fácil de instalar y no requiere compensación de temperatura y presión.