Controlador de fluxo de massa de gás série MFM-50
O medidor de fluxo de massa (MFM) da série MFM-50 é usado para medição de alta precisão do fluxo de gás. A série de MFM é baseada no chip sensor de fluxo MEMS avançado da indústria e no canal de fluxo de gás polido de alumínio de aviação, combinado com calibração central e algoritmo de compensação, adequado para detecção de alta precisão de uma variedade de gases limpos e secos. Sua precisão típica é de ± 1,5%, a proporção da faixa de medição é melhor que 500:1 e a faixa pode ser personalizada (de 50 SCCM a 300 SLM). Além disso, a série MFM-50 está equipada com display LCD e saída digital, o que é conveniente para os usuários depurarem no local e remotamente. O produto é de baixo custo, fácil instalação e não necessita de compensação de temperatura e pressão