جهاز التحكم بتدفق كتلة الغاز من سلسلة MFM-50
يتم استخدام مقياس التدفق الشامل من سلسلة MFM-50 (MFM) لقياس تدفق الغاز بدقة عالية. تعتمد سلسلة MFM على شريحة مستشعر التدفق MEMS المتقدمة في الصناعة وقناة تدفق الغاز المصقولة من الألومنيوم للطيران، جنبًا إلى جنب مع خوارزمية المعايرة والتعويض الأساسية، وهي مناسبة للكشف عالي الدقة لمجموعة متنوعة من الغازات النظيفة والجافة. تبلغ دقتها النموذجية ±1.5%، ونسبة نطاق القياس أفضل من 500:1، ويمكن تخصيص النطاق (من 50 SCCM إلى 300 SLM). بالإضافة إلى ذلك، تم تجهيز سلسلة MFM-50 بشاشة LCD ومخرج رقمي، وهو مناسب للمستخدمين لتصحيح الأخطاء في الموقع وعن بعد. المنتج منخفض التكلفة وسهل التركيب ولا يتطلب تعويض درجة الحرارة والضغط