Misuratore di portata massica di gas a pressione differenziale a scala bassa
Controller del flusso di massa (MFC) Utilizzato per misurare e controllare con precisione il
flusso di massa di gas. Svolgono un ruolo importante nella ricerca scientifica e
produzione in vari settori quali semiconduttori e circuiti integrati
industrie di taglio, discipline dei materiali speciali, industria chimica e industria
lampade industriali, farmaceutiche, di protezione ambientale e a vuoto.
Le applicazioni tipiche includono: apparecchiature di processo elettroniche come
fusione, epitassia, CVD, ossidazione, attacco al plasma, sputtering e impla-
ntazione; e apparecchiature di rivestimento, fusione di fibre ottiche, microreazione
dispositivi, sistemi di distribuzione gas misti, misura capillare, Gas
cromatografi e altri strumenti analitici