Medidor de fluxo de massa de gás de pressão diferencial de faixa baixa

Controlador de fluxo de massa (MFC)Usado para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de gás. Eles desempenham um papel importante na pesquisa científica e produção em vários campos, como semicondutores e circuitos integrados indústrias cuit, disciplinas de materiais especiais, indústria química e indústria lâmpadas experimentais, farmacêuticas, de proteção ambiental e de vácuo. As aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como fusão, epitaxia, DCV, oxidação, gravação de plasma, pulverização catódica e impla- ntação; e equipamentos de revestimento, fundição de fibra óptica, microrreação dispositivos, sistemas mistos de distribuição de gás, medição capilar, gás cromatógrafos e outros instrumentos analíticos