Gn Flow Meter는 미세유체 측정 및 제어 장비 분야의 선도적인 제조업체입니다.

저범위 차압 가스 질량 유량계

Mass Flow Controller(MFC)를 정확하게 측정하고 제어하는데 사용됩니다. 가스의 질량 흐름. 그들은 과학 연구와 연구에 중요한 역할을 합니다. 반도체, 집적회로 등 다양한 분야에서 생산 절단 산업, 특수 재료 분야, 화학 산업 및 산업 strial, 제약, 환경 보호 및 진공 램프. 일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다. 융합, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입 표기 ; 및 코팅 장비, 광섬유 제련, 미세 반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 모세관 측정, 가스 크로마토그래프 및 기타 분석 기기

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특징

넓은 측정 범위	LCD 디스플레이	높은 정밀도
낮은 압력 강하	작은 크기	빠른 반응

기술 데이터

모델 번호:	정확도: 1.0%
작동 압력: 3MPa	베이스 재질 : 316L
흐름 범위: 100SCCM~30SLM	다행인 손:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞
힘: DC+15V	디지털 값: RS485 MODBUS

Used to accurately measure and control the mass flow of gas

It can measure nitrogen, hydrogen, oxygen, measuring range ratio 1:100, built-in 30 kinds of gas coefficient conversion, accuracy 1.0%

Low range mid range

The base material of the flow controller is S316L, and the material contacting the gas is also SS316L, which can measure some weakly corrosive gases.

Instantaneous and total flow, pressure, temperature can be displayed at the same time

The flow range of the micro gas mass flow controller is the same as that of the flow meter, the valve control range ratio is 50:1, and the precision of the proportional control valve is 1.0%

Tinned copper core, multiple shielding, stable data transmission

Flow range: AccuracyLinearityRepeatabilityResponding time Differential pressure range Max pressure working temperature Digital value Analog valuePower supplyElectrical connection Leakage rateMaterial of baseSeal materialGlad hand

CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图10)

CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图11)

CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图12)

CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图13)

CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图14)