Gn Flow Meter는 미세유체 측정 및 제어 장비 분야의 선도적인 제조업체입니다.

저범위 차압 가스 질량 유량계 1
저범위 차압 가스 질량 유량계 1

저범위 차압 가스 질량 유량계

Mass Flow Controller(MFC)를 정확하게 측정하고 제어하는데 사용됩니다. 가스의 질량 흐름. 그들은 과학 연구와 연구에 중요한 역할을 합니다. 반도체, 집적회로 등 다양한 분야에서 생산 절단 산업, 특수 재료 분야, 화학 산업 및 산업 strial, 제약, 환경 보호 및 진공 램프. 일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다. 융합, 에피택시, CVD, 산화, 플라즈마 에칭, 스퍼터링, 이온 주입 표기 ; 및 코팅 장비, 광섬유 제련, 미세 반응 장치, 혼합 가스 분배 시스템, 모세관 측정, 가스 크로마토그래프 및 기타 분석 기기

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    넓은 측정 범위 LCD 디스플레이 높은 정밀도
    낮은 압력 강하 작은 크기 빠른 반응

    기술 데이터

    모델 번호: 

    정확도: 1.0%

    작동 압력: 3MPa

    베이스 재질 : 316L

    흐름 범위: 100SCCM~30SLM

    다행인 손:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞

    힘: DC+15V

    디지털 값: RS485 MODBUS

    Used to accurately measure and control the mass flow of gas

    It can measure nitrogen, hydrogen, oxygen, measuring range ratio 1:100, built-in 30 kinds of gas coefficient conversion, accuracy 1.0%

    Low range mid range

    The base material of the flow controller is S316L, and the material contacting the gas is also SS316L, which can measure some weakly corrosive gases.

    Instantaneous and total flow, pressure, temperature can be displayed at the same time

    The flow range of the micro gas mass flow controller is the same as that of the flow meter, the valve control range ratio is 50:1, and the precision of the proportional control valve is 1.0%

    Tinned copper core, multiple shielding, stable data transmission

    Mass Flow Controller(MFC)Used to accurately measure and control the mass flow of gas. They play an important role in scientific research and production in various fields such as semiconductors and integrated cir- cuit industries,special materials disciplines, chemical industry, and indu- strial, pharmaceutical, environmental protection, and vacuum lamps. Typical applications include: electronic process equipment such as dif- fusion,epitaxy,CVD,oxidation,plasma etching,sputtering,and ion impla- ntation ; and coating equipment, optical fiber smelting, microreaction devices, mixed gas distribution systems, capillary measurement, Gas chromatographs and other analytical instruments

    Flow range: AccuracyLinearityRepeatabilityResponding time Differential pressure range Max pressure working temperature Digital value Analog valuePower supplyElectrical connection Leakage rateMaterial of baseSeal materialGlad hand

    CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图10)

    CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图11)

    CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图12)

    CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图13)

    CX-F1 Micro gas mass flowmeter(图14)


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