Gn Flow Meter es un fabricante líder de instrumentos de control y medición de microfluidos.
Medidor de flujo másico de gas de presión diferencial de rango bajo
Controlador de flujo másico (MFC) Se utiliza para medir y controlar con precisión el
flujo másico de gas. Desempeñan un papel importante en la investigación científica y
producción en diversos campos, como semiconductores y circuitos integrados.
Industrias cuit, disciplinas de materiales especiales, industria química e industria.
Lámparas experimentales, farmacéuticas, de protección ambiental y de vacío.
Las aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico como diferentes
fusión, epitaxia, CVD, oxidación, grabado de plasma, pulverización e implantación de iones.
ntación; y equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, microrreacción
dispositivos, sistemas de distribución de gases mixtos, medición capilar, Gas
cromatógrafos y otros instrumentos analíticos
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Características
| Amplios rangos de medición | pantalla LCD | Alta precisión |
| Caída de presión baja | Tamaño pequeño | Respuesta rapida |
Datos técnicos
| Número de modelo: | Precisión: 1,0% |
Presión de trabajo: 3MPa | Material de la base: 316L |
Rango de flujo: 100SCCM~30SLM | Mano contenta:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞 |
Potencia: CC + 15 V | Valor digital: RS485 MODBUS |
Descargas
Caudalímetro másico de microgas
Formato de fecha P D F
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