Gn Flow Meter è un produttore leader di strumenti di misurazione e controllo microfluidici.
Misuratore di portata massica di gas a pressione differenziale a scala bassa
Controller del flusso di massa (MFC) Utilizzato per misurare e controllare con precisione il
flusso di massa di gas. Svolgono un ruolo importante nella ricerca scientifica e
produzione in vari settori quali semiconduttori e circuiti integrati
industrie di taglio, discipline dei materiali speciali, industria chimica e industria
lampade industriali, farmaceutiche, di protezione ambientale e a vuoto.
Le applicazioni tipiche includono: apparecchiature di processo elettroniche come
fusione, epitassia, CVD, ossidazione, attacco al plasma, sputtering e impla-
ntazione; e apparecchiature di rivestimento, fusione di fibre ottiche, microreazione
dispositivi, sistemi di distribuzione gas misti, misura capillare, Gas
cromatografi e altri strumenti analitici
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Caratteristiche
| Ampi campi di misura | display LCD | Alta precisione |
| Bassa caduta di pressione | Taglia piccola | Risposta veloce |
Dati tecnici
| Numero del modello: | Precisione: 1,0% |
Pressione di esercizio: 3 MPa | Materiale della base: 316L |
Intervallo di flusso: 100SCCM~30SLM | Mano felice:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞 |
Alimentazione: CC + 15 V | Valore digitale: RS485 MODBUS |
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Micro misuratore di portata massica per gas
Formato data P D F
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