يستخدم مقياس تدفق كتلة الغاز الحراري مبدأ التبادل الحراري لقياس تدفق السوائل. يستخدم مقياس الكتلة الحرارية هذا طريقة اختلاف درجة الحرارة الثابتة لقياس تدفق كتلة الغاز بدقة، وله مزايا الحجم الصغير، درجة عالية من الرقمنة، التركيب السهل، القياس الدقيق، إلخ.

يتكون الجزء المستشعر لمقياس تدفق الكتلة الحرارية من محولين للمقاومة البلاتينية ذات المستوى المرجعي. إنها تستخدم دائرة حلقة من نوع الجسر، مع محول واحد لقياس درجة حرارة السائل، وآخر يحافظ على اختلاف درجة الحرارة الثابت الذي يكون أعلى من درجة حرارة السائل. يمكن إجراء قياس مقياس الكتلة الحرارية تحت درجة حرارة عالية وحالة ضغط مرتفع 

إنه مقياس تدفق الكتلة الحرارية الحقيقي الذي يمكنه قياس معدل تدفق الغاز بسهولة ودقة دون تعويض درجة الحرارة والضغط، والذي يمكن للمستخدمين من خلاله الحصول على تدفق كتلة الغاز أو تدفق الحجم القياسي.

نسبة كبيرة من نطاق القياس. يمكن لمقياس تدفق كتلة الغاز الحراري الخاص بنا قياس الغاز بسرعة تدفق تتراوح من 100 نيوتن متر/ثانية إلى 0.5 نيوتن متر/ثانية، ويمكن استخدامه في صيد تسرب الغاز. يمكن تحقيق أتمتة المصنع وتكامله باستخدام اتصال RS-485 أو HART.