Medidor de flujo másico de gas de presión diferencial de rango medio
Controlador de flujo másico (MFC) Se utiliza para medir y controlar con precisión el
flujo másico de gas. Desempeñan un papel importante en la investigación científica y
producción en diversos campos, como semiconductores y circuitos integrados.
Industrias cuit, disciplinas de materiales especiales, industria química e industria.
Lámparas experimentales, farmacéuticas, de protección ambiental y de vacío.
Las aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico como diferentes
fusión, epitaxia, CVD, oxidación, grabado de plasma, pulverización e implantación de iones.
ntación; y equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, microrreacción
dispositivos, sistemas de distribución de gases mixtos, medición capilar, Gas
cromatógrafos y otros instrumentos analíticos