Массовый расходомер газа среднего диапазона с перепадом давления
Регулятор массового расхода (MFC) Используется для точного измерения и контроля
массовый расход газа. Они играют важную роль в научных исследованиях и
производство в различных областях, таких как полупроводники и интегральные схемы.
Промышленная промышленность, специальные материалы, химическая промышленность и промышленность.
промышленные, фармацевтические, экологические и вакуумные лампы.
Типичные области применения включают в себя: электронное технологическое оборудование, такое как
сварка, эпитаксия, CVD, оксидирование, плазменное травление, напыление и ионная имплантация.
нация; и оборудование для нанесения покрытий, плавка оптического волокна, микрореакция
устройства, системы распределения смешанных газов, капиллярное измерение, газ
хроматографы и другие аналитические приборы