Differenzdruck-Gasmassendurchflussmesser im unteren Bereich
Massendurchflussregler (MFC) Wird zur genauen Messung und Steuerung verwendet
Massenstrom von Gas. Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und
Produktion in verschiedenen Bereichen wie Halbleiter und integrierte Schaltkreise
Industriezweige, Spezialwerkstoffe, chemische Industrie und Industrie
Industrie-, Pharma-, Umweltschutz- und Vakuumlampen.
Zu den typischen Anwendungen gehören: elektronische Prozessgeräte wie verschiedene
Fusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern und Ionenimplantation.
Nation; und Beschichtungsanlagen, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktion
Geräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessung, Gas
Chromatographen und andere analytische Instrumente
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mögen
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Merkmale
| Große Messbereiche | LCD Bildschirm | Hohe Präzision |
| Geringer Druckabfall | Kleine Größe | Schnelle Antwort |
Technische Daten
| Modellnummer: | Genauigkeit: 1,0 % |
Arbeitsdruck: 3 MPa | Material der Basis: 316L |
Durchflussbereich: 100SCCM~30SLM | Frohe Hand:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞 |
Leistung: Gleichstrom + 15 V | Digitaler Wert: RS485 MODBUS |
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Mikro-Gasmassendurchflussmesser
Dateiformat P D F
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