Massendurchflussregler (MFC) Wird zur genauen Messung und Steuerung des Massendurchflusses von Gas verwendet. Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie der Halbleiter- und integrierten Schaltkreisindustrie, speziellen Materialdisziplinen, der chemischen Industrie sowie Industrie-, Pharma-, Umweltschutz- und Vakuumlampen. Zu den typischen Anwendungen gehören: elektronische Prozessausrüstung wie Diffusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern und Ionenimplantation; und Beschichtungsausrüstung, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessung, Gaschromatographen und andere Analyseinstrumente
Große Messbereiche | Mikro | Hohe Präzision |
Geringer Druckabfall | Kleine Größe | Schnelle Antwort |
Modellnummer: CX-F7 | Genauigkeit: 0,5 % |
Arbeitsdruck: 3 MPa | Material der Basis: 316L |
Durchflussbereich: 30 ~ 3000 slm | Frohe Hand:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞 |
Leistung: Gleichstrom +15 V/24 V | Digitaler Wert: RS485 MODBUS |