Gn Flow Meter é um fabricante líder de instrumentos de medição e controle microfluídicos.

Medidor de vazão mássica de micro gás CX-F3

Controlador de fluxo de massa (MFC)Usado para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de gás. Eles desempenham um papel importante na pesquisa científica e produção em vários campos, como semicondutores e circuitos integrados indústrias cuit, disciplinas de materiais especiais, indústria química e indústria lâmpadas experimentais, farmacêuticas, de proteção ambiental e de vácuo. As aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como fusão, epitaxia, DCV, oxidação, gravação de plasma, pulverização catódica e impla- ntação; e equipamentos de revestimento, fundição de fibra óptica, microrreação dispositivos, sistemas mistos de distribuição de gás, medição capilar, gás cromatógrafos e outros instrumentos analíticos

investigação

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Características

Amplas faixas de medição	Micro	Alta precisão
Baixa queda de pressão	Tamanho pequeno	Resposta rápida

Dados técnicos

Número do modelo: CX-F3	Precisão: 0,5%
Pressão de trabalho: 3MPa	Material da base: 316L
Faixa de fluxo: 1,5 ~ 150sIm	Mão feliz:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞
Alimentação: CC +15V/24V	Valor analógico: CC 0~5V/4~20mA

Used to accurately measure and control the mass flow of gas

The digital type is the left side style, with LCD display, instantaneous and total flow, pressure, temperature can be displayed at the same time and can be equipped with RS485/232, the MODBUS protocol analog type is the right side style, without digital display and no communication function

The range ratio of the flowmeter is 1:100, the valve control range of the controller is 1:50 the minimum can measure 2SCCM and the maximum can measure 3000SLM

The base material of the flow meter controller is S316L, and the material that contacts the gas is also SS316L. It can measure some weak corrosive gases. When measuring other strong corrosive gases and organic solvent gases, it should be declared when ordering.

The standard accuracy of gas mass flowmeters is 0.5%. 1.0% of reading, and the repeatability of 0.5% full scale accuracy is 0.2%. The accuracy of the controller is 1.0% (full scale accuracy)

The flow range of the miniature gas mass flow controller is the same as that of the flowmeter, the valve control range ratio is 50:1, and the proportional control valve accuracy is 1.0%.

Digital value RS485 MODBUS；Analog value DC 0~5V ，4~20mA

note: The mass flow meter and mass flow controller are usually calibrated with nitrogen (N2). The unit of mass flow is stipulated as: SCCM (Standard ml/min); SLM(Standard l/min) Standard state stipulates: temperature -----273.15K (0℃); Pressure -----101325 Pa(760mm Hg） F.S (Full Scale); Full-scale value

Micro gas mass flowmeter(图10)

Micro gas mass flowmeter(图11)

Micro gas mass flowmeter(图12)

Micro gas mass flowmeter(图13)

Micro gas mass flowmeter(图14)

Transferências

Medidor de vazão mássica de microgás Formato de data P D F

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