Gn Flow Meter est l'un des principaux fabricants d'instruments de mesure et de contrôle microfluidiques.
Débitmètre à engrenages ovales CX-OGFM
Contrôleur de débit massique (MFC) Utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le
débit massique de gaz. Ils jouent un rôle important dans la recherche scientifique et
production dans divers domaines tels que les semi-conducteurs et les circuits intégrés
industries de fabrication, disciplines de matériaux spéciaux, industrie chimique et industrie
lampes industrielles, pharmaceutiques, de protection de l'environnement et à vide.
Les applications typiques incluent : les équipements de processus électroniques tels que les diffuseurs
fusion, épitaxie, CVD, oxydation, gravure au plasma, pulvérisation et implantation ionique
déclaration ; et équipement de revêtement, fusion de fibres optiques, microréaction
appareils, systèmes de distribution de gaz mixtes, mesure capillaire, Gaz
chromatographes et autres instruments d'analyse
5.0
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Caractéristiques
| Larges plages de mesure | affichage LCD | Haute précision |
| Faible chute de pression | Petite taille | Une réponse rapide |
Données techniques
| Numéro de modèle : CX-EMFM | Précision : 0,5 % |
Pression de travail : 1,6 Mpa, 2,5 Mpa, 4 Mpa | Matériau: acier moulé/acier inoxydable/fer caté |
Viscosité du liquide : 0,6-200MPa.s | Plage de débit : 0,6-200 m2/h |
Alimentation : 12 V CC | Température de fonctionnement : -10~100℃ ; -30~160℃ ; |
Téléchargements
Débitmètre à engrenages ovales--
Format de date P D F
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