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Contrôleur de débit massique de gaz de haute précision micro 0-50L/Min
Le contrôleur de débit massique (MFC) de la série MFC-UT est un produit compact développé sur la base de l'industrie’Puce de capteur de débit MEMS avancée, combinée à une technologie de traitement d'échantillonnage à grande vitesse et à un algorithme de compensation numérique. Le produit est équipé d'une vanne proportionnelle électromagnétique importée, d'un siège à gaz en acier inoxydable 316L et d'une puce de débit MEMS de haute précision, etc. L'intégration ultra-élevée réduit de moitié la taille du produit, ce qui peut être mieux appliqué aux lieux d'installation ayant des exigences d'espace strictes.
Caractéristiques
| Larges plages de mesure | Micro | Haute précision |
| Faible chute de pression | Petite taille | Une réponse rapide |
Données techniques
| Numéro de modèle: / | Tension : DC24V， ; ondulation ≤50m.v. |
Précision: ±1%F.S | Température de fonctionnement : 0~50℃ ; |
Plage de débit : 0 ~ 20SLM | Pression de travail : 0~1MPa |
Résolution : la plus basse 0,01 SCCM | Temps de réponse: ≤1S |
Téléchargements
