Gn Flow Meter est l'un des principaux fabricants d'instruments de mesure et de contrôle microfluidiques.
Contrôleur de débit massique (MFC)Utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique de gaz. Ils jouent un rôle important dans la recherche scientifique et la production dans divers domaines tels que l'industrie des semi-conducteurs et des circuits intégrés, les disciplines des matériaux spéciaux, l'industrie chimique et l'industrie, la pharmacie, la protection de l'environnement et les lampes à vide. Les applications typiques incluent : les équipements de traitement électronique tels que la diffusion, l'épitaxie, la CVD, l'oxydation, la gravure au plasma, la pulvérisation cathodique et l'implantation ionique ; et équipement de revêtement, fusion de fibres optiques, dispositifs de microréaction, systèmes de distribution de gaz mixtes, mesure capillaire, chromatographes en phase gazeuse et autres instruments d'analyse
Larges plages de mesure | Micro | Haute précision |
Faible chute de pression | Petite taille | Une réponse rapide |
Numéro de modèle: CX-F5 | Précision : 0,5 % |
Pression de travail : 3MPa | Matériau du socle : 316L |
Plage de débit : 10~1000slm | Main heureuse :Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞 ; |
Alimentation : cc + 15 V/24 V. | Valeur numérique: RS485 MODBUS |