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CX-F6 Mikro-Gasmassendurchflussmesser

Massendurchflussregler (MFC) Wird zur genauen Messung und Steuerung verwendet Massenstrom von Gas. Sie spielen eine wichtige Rolle in der wissenschaftlichen Forschung und Produktion in verschiedenen Bereichen wie Halbleiter und integrierte Schaltkreise Industriezweige, Spezialwerkstoffe, chemische Industrie und Industrie Industrie-, Pharma-, Umweltschutz- und Vakuumlampen. Zu den typischen Anwendungen gehören: elektronische Prozessgeräte wie verschiedene Fusion, Epitaxie, CVD, Oxidation, Plasmaätzen, Sputtern und Ionenimplantation. Nation; und Beschichtungsanlagen, Schmelzen optischer Fasern, Mikroreaktion Geräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessung, Gas Chromatographen und andere analytische Instrumente

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Merkmale

Große Messbereiche	Mikro	Hohe Präzision
Geringer Druckabfall	Kleine Größe	Schnelle Antwort

Technische Daten

Modellnummer: CX-F6	Genauigkeit: 0,5 %
Arbeitsdruck: 3 MPa	Material der Basis: 316L
Durchflussbereich: 20 ~ 2000 slm	Frohe Hand:Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8 〞
Leistung: Gleichstrom +15 V/24 V	Digitaler Wert: RS485 MODBUS

Used to accurately measure and control the mass flow of gas

The digital type is the left side style, with LCD display, instantaneous and total flow, pressure, temperature can be displayed at the same time and can be equipped with RS485/232, the MODBUS protocol analog type is the right side style, without digital display and no communication function

The range ratio of the flowmeter is 1:100, the valve control range of the controller is 1:50 the minimum can measure 2SCCM and the maximum can measure 3000SLM

The base material of the flow meter controller is S316L, and the material that contacts the gas is also SS316L. It can measure some weak corrosive gases. When measuring other strong corrosive gases and organic solvent gases, it should be declared when ordering.

The standard accuracy of gas mass flowmeters is 0.5%. 1.0% of reading, and the repeatability of 0.5% full scale accuracy is 0.2%. The accuracy of the controller is 1.0% (full scale accuracy)

The flow range of the miniature gas mass flow controller is the same as that of the flowmeter, the valve control range ratio is 50:1, and the proportional control valve accuracy is 1.0%.

Digital value RS485 MODBUS；Analog value DC 0~5V ，4~20mA

note: The mass flow meter and mass flow controller are usually calibrated with nitrogen (N2). The unit of mass flow is stipulated as: SCCM (Standard ml/min); SLM(Standard l/min) Standard state stipulates: temperature -----273.15K (0℃); Pressure -----101325 Pa(760mm Hg） F.S (Full Scale); Full-scale value

Micro gas mass flowmeter(图10)

Micro gas mass flowmeter(图11)

Micro gas mass flowmeter(图12)

Micro gas mass flowmeter(图13)

Micro gas mass flowmeter(图14)

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