Массовый расходомер газа с высоким диапазоном перепада давления
Регулятор массового расхода (MFC) Используется для точного измерения и контроля массовый расход газа. Они играют важную роль в научных исследованиях и производство в различных областях, таких как полупроводники и интегральные схемы. Промышленная промышленность, специальные материалы, химическая промышленность и промышленность. промышленные, фармацевтические, экологические и вакуумные лампы. Типичные области применения включают в себя: электронное технологическое оборудование, такое как сварка, эпитаксия, CVD, оксидирование, плазменное травление, напыление и ионная имплантация. нация; и оборудование для нанесения покрытий, плавка оптического волокна, микрореакция устройства, системы распределения смешанных газов, капиллярное измерение, газ хроматографы и другие аналитические приборы