Gn Flow Meter — ведущий производитель микрофлюидных приборов для измерения и контроля.
Микрорасходомеры Работают на основе различных физических принципов и в основном делятся на активные и пассивные датчики.
Активные расходомеры подают энергию в жидкость для измерения степени её возмущения:
Терморасходомеры — наиболее распространенный тип. Они нагревают жидкость и измеряют теплопередачу для определения расхода.
Кориолисовые расходомеры — Колеблющаяся трубка создает силу Кориолиса, пропорциональную массовому расходу, и измеряет как скорость потока, так и плотность.
Пассивные расходомеры не добавляют энергию к жидкости. Расход определяется по перепаду давления, силе сопротивления или деформации чувствительного элемента.
К числу перспективных технологий относятся волоконно-оптические датчики и магнитные гидрогелевые роторные датчики.
Высокая чувствительность — измеряет потоки ниже 1 мл/мин, вплоть до нанолитров в минуту.
Компактный размер — идеально подходит для интеграции в небольшие системы.
Высокая точность — в некоторых конструкциях отклонение составляет менее ±0,9%.
Калибровка не требуется — Некоторые типы (например, кориолисовые) обеспечивают работу без калибровки.
Широкий диапазон измерений — некоторые датчики охватывают более 3 порядков величины.
Высокая стоимость — микрокориолисовые измерители значительно дороже термодатчиков.
Риск засорения — Очень мелкие внутренние каналы подвержены засорению частицами.
Чувствительность к температуре — Термодатчики могут нагревать жидкость, что влияет на термочувствительные жидкости.
Ограниченные возможности — Промышленные варианты для потоков ниже 1 мл/мин по-прежнему ограничены.
Принципы активных и пассивных измерений (термические, кориолисовы, основанные на давлении, оптические).
Возможность работы со сверхнизким потоком — от нл/мин до 30 мл/мин.
Компактный форм-фактор — чувствительные элементы размером всего 126 мкм.
Совместимость с различными средами — водой, маслами, топливом, растворителями, пищевыми продуктами.
Высокая грузоподъемность — некоторые модели выдерживают давление до 5000 фунтов на квадратный дюйм.
| Промышленность | Приложения |
|---|---|
| Медицина и фармацевтика | Насосы для доставки лекарств, дозировка инсулина, клиническая диагностика |
| Полупроводник | Нанесение фоторезистного покрытия, впрыск электролита |
| Химическая и лабораторная химия | Смешивание реагентов, микрофлюидные устройства |
| Продукты питания и напитки | Кофемашины, автоматы для напитков |
| Промышленное производство | Дозирование, нанесение покрытия, распыление, проверка на герметичность |
Микрорасходомер — это прецизионное устройство, необходимое для измерения сверхмалых потоков. Его ключевые преимущества — высокая чувствительность, компактные размеры и точность. Основные недостатки — высокая стоимость и риск засорения. Он играет важную роль в полупроводниковой, медицинской и микрофлюидной промышленности.
